판매용 중고 DNK MA-4200 #293778963

DNK MA-4200
ID: 293778963
Mask aligner.
DNK MA-4200은 DNK Corporation의 정밀 마스크 정렬 자입니다. 고급 (advanced) 기술을 사용하여 정확한 정렬 정확도와 마이크론 정밀도로 웨이퍼를 패턴화하는 기능을 제공합니다. 이 장비는 반도체 장치 및 회로 제작을 위해 나노 미터 규모의 레이어 전송 마스크를 생산하도록 특별히 설계되었습니다. DNK MA4200에는 웨이퍼 배치 및 정렬을위한 6 인치 수평, 5 인치 수직 XY 스테이지가 있습니다. 배율은 2X ~ 1000X이며, 더 나은 정렬 정확도를 위해 넓은 시야로 높은 배율 입체 (stereoscope) 를 사용할 수 있습니다. 또한 CAD 패턴을 정렬하고 패턴화하는 강력한 비전 단위가 있습니다. MA 4200은 실리콘 온 인슐레이터 (SOI), 광학 기반 집적 회로, MEMS 및 유사한 프로세스와 같은 저용량 나노 테크 응용 프로그램을 지원합니다. 초미세 오버레이 정렬 및 미세 리소그래피가 가능합니다. 빔 전류 300 UA로 10 kV에서 5 ½ m 미만의 해상도로 효과적으로 패턴화하고 전송 할 수 있습니다. DNK MA 4200의 주요 기능에는 7 인치 LCD TFT 디스플레이, 더 빠른 웨이퍼 정렬을위한 자동 정렬 기계, 정확한 웨이퍼 정렬을위한 4 축 모터 및 인체 공학적으로 설계된 처리 도구가 포함됩니다. 수동 및 자동 레시피, 웨이퍼 이동 실시간 마우스 제어, 다른 프로세스 단계에 대한 매개변수 최적화, .lps, .csv 및 .inf 파일 형식을 지원하는 소프트웨어 등을 제공합니다. MA4200 은 최신 집적 회로의 정렬 및 패턴화를 위한 탁월한 도구입니다. 정확한 정렬 정확도, 고해상도 (High Resolution) 패턴화, 인터페이스 기능을 갖춘 이 자산은 칩 제작의 생산성 및 유연성을 향상시킵니다.
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