판매용 중고 DNK KS-7000 #293652382
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DNK KS-7000 Mask Aligner는 큰 표면에서 고급 장치 또는 구성 요소를 미세 조립하도록 설계된 특수 석판화 도구입니다. 고해상도 포토마스크 이미지 (photomask image) 와 전용 스캐닝 스테이지 (scanning stage) 를 조합하여 기판에서 원하는 패턴을 정확하게 재현함으로써 기능합니다. 이 기술은 반도체 제작 및 관련 산업에서 높은 정확도와 효율적인 프로세스 흐름 (process flow) 으로 인해 광범위한 응용 분야를 발견했습니다. 마스크 정렬기는 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 이미지 정렬 도구, 스캔 단계 및 광학 구성 챔버입니다. 마스크 정렬자 (mask aligner) 는 먼저 현미경 렌즈를 통해 포토 마스크 (photomask) 를 기판에 이미지한 다음 스캐닝 단계를 조정하여 기판의 원하는 위치에 정렬합니다. 그런 다음, 주사 영역 을 "기판 '으로 옮겨" 옵티컬 챔버' 뒷면 에 장착 된 투영 "렌즈 '를 통과 시킨다. 마스크 정렬기의 KS-7000 모델에는 광도 (light intensity) 의 추가 제어를 위한 통합 간섭 필터 시스템 (interference filter system) 과 향상된 이미지 선명도 (image clarity) 가 포함되어 있습니다. 또한 다양한 컴퓨터 제어 사전 설정을 통해 이미징 프로세스의 속도와 정확도를 최적화합니다 (영문). 이 과정을 더욱 능률화하기 위해, 기계는 약간의 잘못된 정렬 또는 패턴 불규칙성을 감지하고 수정하는 내장 자동 보상 (automated compensation) 기능을 제공합니다. 또한, 모달 디자인으로 인해 DNK는 웨이퍼 타입 (wafer type), SOI 또는 금속 필름과 같은 다양한 종류의 기판을 쉽게 수용 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 샘플 로딩 스테이션 (sample loading station), 광용량 선택기, 손쉬운 이미지 정렬을 위한 LED 포토 마스크 (LED photomask) 시청, 통합 설계 카탈로그 등 다양한 액세서리 및 도구를 제공합니다. 전반적으로 DNK KS-7000 Mask Aligner는 신뢰할 수 있고 고정밀도 높은 도구로서, 마이크로 패브라이션 업계에서 없어서는 안 될 도구가되었습니다. 뛰어난 정밀도, 손쉬운 작동 방식, 편안한 디자인, 풍부한 기능으로 말미암아 "마이크로패브라이션 '공정 (microfabrication process) 을 능률화하고자 하는 모든 사람에게 완벽한 선택" 이라고 할 수 있습니다.
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