판매용 중고 DCA / DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES 26-97914-601 Rev 2.01 #9011151
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DCA (DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES) 26-97914-601 Rev 2.01은 웨이퍼 제작 중 집적 회로 (IC) 구성 요소를 제작하는 동안 마스크 레이어를 정렬하는 데 사용되는 고정밀 마스크 정렬기입니다. 이 장치는 고급 디지털 통신 (digital communication) 알고리즘과 기술을 활용하여 마스크 레이어를 서로 관련하여 정확하게 배치하는 자체 (self-contained) 장비입니다. DCA/DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES 26-97914-601은 일련의 정밀 작동기, 센서 및 컨트롤러를 사용하여 마스크를 원하는 위치에 정확하게 정렬합니다. 이렇게 하면 정렬이 설계된 사양 내에 있게 됩니다. 이 장치는 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 활용하여 정렬 프로세스를 직관적으로 제어하고 모니터링합니다. DCA 26-97914-601은 2 세트의 고정밀 이미지 해상도 카메라와 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 마스크를 서로 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 시스템은 또한 두 세트의 정밀 동작 컨트롤러 (precision motion controller) 를 통합하여 마스크 정렬이 항상 미리 지정된 사양 내에 있는지 확인합니다. 디지털 커뮤니케이션 어소시에이트 26-97914-601 (DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES 26-97914-601) 은 다양한 유형의 마스크 크기를 지원할 수 있으므로 제작자가 요구 사항에 가장 적합한 마스크 크기를 선택할 수 있습니다. 모든 정렬 작업에 대한 자세한 개요를 제공하기 위해, 이 장치는 또한 자동화된 로그 추적 (log tracking) 및 분석 (analysis) 소프트웨어를 제공합니다. DCA/DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES 26-97914-601에는 IC 구성 요소의 제조 및 유지 보수 중에 사용할 교정 및 진단 라이브러리도 있습니다. 이 라이브러리에는 (PHP 3 = 3.0.6, PHP 4) DCA 26-97914-601은 안정적이고 정확한 마스크 정렬기로, 고정밀 IC 부품을 생산할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로젝트를 위한 효율적인 도구이기도 합니다. 생산률을 높이고 비용을 절감할 수 있기 때문입니다. 시스템의 사용자 친화적 GUI 및 자동화된 로그 추적/분석 (automated log tracking and analysis) 소프트웨어는 마스크 레이어의 정렬이 원하는 사양 내에 유지되도록 필요한 기능을 제공합니다.
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