판매용 중고 COBILT CA 800 #102000

COBILT CA 800 mask aligner는 고해상도 장치 제작, 특히 photolithography 응용 프로그램에서 중요한 도구입니다. 다용도, 자동화된 장비로, 고해상도와 고해상도를 모두 갖추고 있습니다. CA 800 시스템은 높은 정렬 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 디자인은 2-10 인치 정확도에서 5 m 스텝 크기를 선택하고 0.25 m 아래로 해상도를 가진 풀 필드 디지털 이미징 장치를 사용합니다. 따라서 복잡한 디바이스의 고해상도 조정 및 전송이 가능합니다. 이 기계에는 2 개 또는 4 개 구역 바이어스 소스가 있으며, 최대 12 볼트의 바이어스를 제공 할 수 있습니다. 이렇게 하면 마스크 제거 후에도 photoresist 레이어가 제대로 정렬되어 있습니다. COBILT CA 800에는 완전 자동 정렬 도구가 장착되어 있습니다. 2D 패턴 인식 기능 (2D pattern recognition capability) 과 닫힌 루프 정렬 제어 에셋 (closed-loop alignment control asset) 을 사용하여 마스크를 제거하기 전에 장치가 제대로 정렬되었는지 확인합니다. 마스킹 프로세스는 레이어 시간, 용량, 온도의 프로그래밍 가능한 변화로 완전히 자동화 될 수 있습니다. 이 모델에는 패처 장치, 레이어 두께를 측정 및 모니터링하는 장치, 닫힌 루프 제어 액츄에이터, 전동 작동 가능 장치 (Motorized Worktable) 도 포함됩니다. 동력화 된 작업 가능 장치 (Motorized Worktable) 는 최고 해상도의 다양한 거리에 대해 설정할 수 있습니다. CA 800 은 작고 복잡한 장치를 제작하는 데 유용한 툴입니다. 고도의 정확성과 반복성을 제공하므로 포토리토그래피 (photolithography) 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다. 자동 (automated) 기능을 통해 소형 장치 준비를 위한 편리하고 효율적인 장비가 됩니다.