판매용 중고 COBILT CA 400 #10357
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ID: 10357
웨이퍼 크기: 2"-3"
Aligners, 2"-3"
Includes:
Split field optics
Resolution: 2 to 3 micron.
COBILT CA 400 Mask Aligner는 제조 웨이퍼 마스크 기판을 위해 설계된 고급 사진 리소그래피 노출 장비입니다. CA 400 은 정밀 집적 회로 (IC) 장치를 위한 세밀한 기능을 제공하는 빠르고 정확하며 효율적인 방법입니다. 정렬자의 마스크 제작 능력은 다양한 유형의 장치 제작에 대해 생산 시간을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. COBILT CA 400은 고해상도 인쇄 헤드와 패턴 편집기를 결합하여 마스크 제작을위한 정확한 미세 패턴 기판을 만듭니다. 정렬기는 여러 크기의 표준 웨이퍼 기판을 허용할 수 있으며, 인쇄 된 패턴의 위치 정확도는 매우 정밀한 콰트로 컨트롤러 (quattro controller) 가 장착 된 좌표 측정 시스템 (CMS) 에 의해 보장됩니다. CA 400은 우수한 노출 정확도를 제공하며, 노출 수준은 IC 산업 설계 표준 및 사진 석판화 기준을 준수합니다. 마스크 완성 모듈 (Mask-Completion Module) 에 의해 노출 정확도가 더욱 향상되어, 소유자가 하나의 노출만으로 여러 마스크를 완료 할 수 있습니다. 이 모듈은 자체 전문 소프트웨어를 사용하여 작동하므로 마스크 패턴 인식 (mask pattern recognition) 및 기판 준비 (substrate preparation) 와 같은 작업을 수행하는 COBILT CA 400을 돕습니다. 또한 CA 400 에는 다른 기능 (예: 출력 모니터) 이 장착되어 있어 wafer 가 승리하기 전에 작업 상태를 확인할 수 있습니다. 피드백은 웨이퍼가 제대로 노출되고 청소되었는지 확인하는 데 도움이 됩니다. 코빌트 CA 400 (COBILT CA 400) 은 고도로 고급 다이어프램 시스템을 사용하여 전체 마스크 표면적에 균일 한 광원 분포를 달성한다. 결과적으로, 빠른 노출 시간으로 미세 패턴 매칭을 달성 할 수 있습니다. 또한 "얼라이너 '에 사용 되는 매우 민감 한 열" 플레이트' 는 일관성 있고 정확 한 "마스크 '정렬 을 하는 데 도움 이 되어" 마스크' 를 처리 하는 데 적합 하게 배치 한다. 자동 마스크 배치 (automated mask placement) 및 중첩된 패턴 등록 (superimposed pattern registration) 과 같은 CA 400의 강력한 기능은 장치가 일반적으로 그러한 제품에서 보이지 않는 효율성 수준을 달성하도록 도와줍니다. 코빌트 CA 400 (COBILT CA 400) 은 마스크 제작 프로세스를 신속하게 완료할 수 있으며, IC 장치 디자이너의 설계 요구 사항에 맞는 마스크를 생산하면서 프로세스에 관여하는 수동 인력의 양을 줄일 수 있습니다. 이 장치는 CA 400 의 고급 기능 외에도 최소한의 비용과 최소한의 유지 보수 (maintenance) 기능을 자랑합니다. 비용 효율성, 유지 보수 요건이 낮기 때문에 중소기업, 신생 기업들이 '얼라이너 (aligner)' 에 관심을 가질 가능성이 높아지고 있습니다. 이것은 마스크 완성 및 열 플레이트 기능과 같은 고급 기능과 함께 COBILT CA 400을 최신 마스크 제조 요구에 대한 매력적인 옵션으로 만듭니다.
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