판매용 중고 CANON Wafer conversion kits for PLA 501 #9160415

PLA 501 용 CANON Wafer 변환 키트는 마스크 정렬기의 유연성을 향상시키는 데 사용되는 도구입니다. 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 10 nm 이하의 피쳐 크기를 가진 칩 표면에 나노 구조를 생성하는 데 사용되는 기계입니다. 마스크 정렬자 (Mask Aligner) 는 리소그래피 프로세스 동안 사용되는 다양한 마스크를 정확하게 정렬하여 기판의 원하는 패턴 (일반적으로 웨이퍼) 을 에치 (etch) 할 수있는 다양한 구성 요소와 메커니즘으로 구성됩니다. 마스크 정렬기를 사용하여 크기, 피치, 두께가 다른 웨이퍼를 처리할 때 웨이퍼 변환 키트 (wafer conversion kit) 를 사용해야 합니다. 각 변환 키트는 특정 유형의 웨이퍼를 위해 설계되었습니다. PLA 501용 Wafer 변환 키트에는 웨이퍼 처리를 위해 다양한 교환 가능한 부품이 포함되어 있습니다. 이 키트에는 마스크 정렬기의 본체에 장착 된 척 홀더 (chuck holder) 가 포함됩니다. 척 홀더 (chuck holder) 는 기질이 노출 과정에서 놓인 다양한 유형의 척 (chucks) 을 보유합니다. 척은 다양한 유형의 웨이퍼를 수용하기 위해 다양한 모양과 크기로 제공됩니다. 또한, 키트에는 마스크 정렬기에 삽입 될 때 웨이퍼를 고정시키는 데 사용되는 4 위치 척 로더 (4-position chuck loader) 가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 변환 키트 (wafer conversion kit) 에는 전동 웨이퍼 변위 장치 (motorized wafer displacement device) 가 함께 제공되는데, 이 장치는 정렬 중에 기판을 정확하고 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 이 "키트 '에는 또한 횡경막 인장 이 들어 있어서, 수분 이" 마스크' 정렬 기계 안 으로 스며들지 않게 하여 "웨이퍼 '가 정확 하고 정확 하게 노출 되도록 한다. 마지막으로, 키트에는 웨이퍼 마스크 스태커 (wafer mask stacker) 가 포함되어 있으며, 이는 마스크를 올바른 위치에 정렬하는 데 사용됩니다. 이 "스태커 '를 사용 하여" 마스크' 를 정확 하게 정렬 하여 원하는 "패턴 '을" 웨이퍼' 에 정확 하게 에치 '할 수 있다. 전체적으로 PLA 501 용 CANON Wafer 변환 키트는 마스크 정렬기 사용자가 크기, 피치, 두께가 다른 웨이퍼를 처리하는 효율적이고 정확한 방법을 제공합니다. 키트의 다양한 구성 요소를 사용하면 마스크 정렬 (mask aligner) 을 사용하여 마스크를 정확하게 정렬하고 원하는 패턴으로 웨이퍼를 정확하게 노출할 수 있습니다.