판매용 중고 CANON PLA #9244761

CANON PLA (Parallel Layer Aligner) 는 웨이퍼 스테퍼/스캐너 기반 리소그래피를 위해 설계된 마스크 정렬기입니다. 이 제품은 스테퍼 호환 프로그래밍 가능한 레이저 정렬 장비로, 광학 및 소프트웨어 기능을 결합하여 여러 계층의 레이어 간 (layer in difference layer) 를 측정 및 정렬하여 자동 오버레이 정렬 기능을 제공합니다. PLA는 레이저 정렬 기술과 고해상도 광학 현미경을 활용하여 두 레이어의 상대 정렬을 정확하게 측정합니다. "레이저 '정렬 은 각 층 의" 이미지' 가 반사 되는 "레이저 '와" 실리콘 웨이퍼' 를 사용 하여 이루어진다. 그 결과, 두 층 의 정렬 이 정확 한 것 으로 결정 되면, 그것 은 "리소그래피 레시피 '에 기록 된다. 시스템은 오버레이 테스트 웨이퍼 (overlay test wafer) 에서 가져온 단일 이미지에서 패턴을 인식한 다음 이를 참조 데이터 세트 (reference data set) 와 비교합니다. 두 레이어의 상대 정렬을 하위 미크론 정확도까지 측정 할 수 있습니다. 캐논 플라 (CANON PLA) 는 여러 이미지를 필요로 하지 않으면서 여러 레이어의 위치를 단순화하고 가속화하는 강력한 이미징 알고리즘을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 또한 정렬 검증 도구, 패턴 일치 도구, 모서리 감지 도구 (Edge Detection Tool) 등 다양한 내장 도구가 있습니다. PLA 는 설치 시간을 줄이고, 생산에 필요한 노출 횟수를 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 그 힘 은 "프로그래밍 '할 수 있는" 레이저' 기계 의 유연성 과 연관 되어 있으며, 이 로 인해 "프로그램 '할 수 있는" 레이저' 기계 는 조정 과정 의 모든 매개변수 를 제어 할 수 있다. 또한 매우 자동화되어 있으므로 여러 레이어를 정확하고 반복적으로 정렬할 수 있습니다. 전반적으로, CANON PLA는 매우 안정적이고 유용한 석판화 도구로서, 탁월한 정확성과 빠른 처리량 생산의 가능성을 제공합니다. 광 미디어 (Optical) 와 소프트웨어 (Software) 기능이 결합되어 있어 모든 운영 환경에 귀중한 기능을 추가할 수 있습니다.