판매용 중고 CANON PLA 600F #9382829

CANON PLA 600F는 CANON Group의 부서 인 CANON Semiconductor Equipment Corporation에서 개발 한 마스크 정렬 자입니다. 캐논 플라이 600F (CANON PLA600F) 는 반도체 장치의 광석판 제작에 사용되는 포토 마스크 또는 광학 리소그래피 공정의 빠르고 정확한 정렬을 위해 설계되었습니다. 마스크 이미지의 고해상도는 고성능 레이저 포지셔닝 (laser-positioning) 장비와 내장된 참조 렌즈 (reference lens) 를 사용하여 정확하게 정렬할 수 있습니다. 여러 레이어를 높은 정확도에 맞춰 정렬하는 기능으로 마스크 (Mask) 나 웨이퍼 (Wafer) 에 있는 이미지를 정확하게 배치할 수 있습니다. 따라서 결함이 최소화되어 고품질 장치를 만들 수 있습니다. 마스크 정렬기는 또한 조리개 플레이트 (aperture plate) 를 특징으로하며, 다양한 마스크 크기와 모양을 수용 할 수 있습니다. 이렇게 하면 이미지화된 영역의 위치가 변경될 때 [마스크] 를 최적으로 정렬할 수 있습니다. 렌즈 조리개 판은 조정이 가능하며, 다른 깊이 설정으로 조정할 수 있습니다. PLA-600F (PLA-600F) 는 정교한 이미지 분석 시스템을 자랑하며, 이를 통해 가장 작은 결함을 식별하고 레이어 두께를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 장치의 통합 측정 소프트웨어 (Integrated Measurement Software) 를 통해 마스크 또는 웨이퍼 정렬의 정확도를 모니터링하고 조정하여 높은 수준의 균일성을 보장합니다. 또한 "마스크 '의 위치 를 모니터링 하여 필요 하다면 조정 할 수 있다. 마스크 정렬기는 여러 CANON 기술 (예: 마스크 설계 및 분석 소프트웨어) 과 호환됩니다. 이렇게 하면 사용자 정의 마스크를 만들고 이미지 분석 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 또한 자동 체크포인트 (self-checkpoint) 기능을 통해 온도, 전원 공급 장치와 같은 운영 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 작동하지 않는 부품과 관련된 비용이 많이 드는 오류를 줄일 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 이미지 정렬 조건 (Image Alignment Condition) 과 함께 장치의 정보를 기록하여 정보를 쉽게 검토하고 정확성을 보장합니다. 안전 측면에서, 마스크 정렬기는 내장 안전 도구로 사전 프로그래밍됩니다. 따라서 사용자의 운영 환경에 따라 최대 "레이저 '전력을 제한하여 운영자의 안전을 보장할 수 있습니다.