판매용 중고 CANON PLA 600F #293830592
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ID: 293830592
웨이퍼 크기: 2"-6"
Mask aligners, 2"-6"
Photo mask size: 2.5", 4", 5", 6", 7"
Illuminator:
Lamp: 250W super high pressure mercury lamp
Uniformity: +/-3% / D150 mm
Exposure time setting: Light integration method (Switch setting from 0.1 to 59.9)
Exposure time: 5 sec for positive resist (AZ 1470), 2 sec for negative resist (OMR 83, using, ND-50 filter)
Alignment scope:
Objective lens: 10x (5 x, 20 x)
Zoom erector: 1 x-2.5x
Eyepiece: 10 x (15 x, 20 x option)
Field of observation: image
Scanning range X/Y direction: +/- 10 mm joystick
Alignment method:
Auto alignment (PLA-600FA): +/-0.5, +/-1.0, +/-2.0 ILm
Tolerance setting: Key patterns for auto alignment
Offset control: (0-7.9 ILm in 0.1 ILm units, 0-791Lm in 1 ILm units)
Alignment mode: Auto, semi-auto and manual.
CANON PLA 600F는 다양한 반도체 및 마이크로 전자 칩 제조 프로세스에 사용되는 Mask Aligner 기계입니다. 이 기계는 수직 (vertical-aligned) 장비로 설계되었으며, 기판은 스테이지에 장착되어 마스크 (mask) 나 레티클 (reticle) 과 관련하여 수직으로 이동합니다. 일반적으로 웨이퍼 당 30 ~ 60 분의 처리 시간으로 최대 6 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. CANON PLA600F는 노출 된 플래튼을 가지고 있으며 저에너지 산란 전 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치 는 "마스크 '를 기판 에 맞추어 정확 하게 맞춘다. 또한 정렬 중 잠재적 인 피해로부터 기판을 보호하고, 깨끗하고 파편이없는 작업 환경을 유지하도록 설계되었습니다. PLA-600F 에는 2 축 스캐닝 머신 (scanning machine) 이 있으며 다양한 모드에서 작동하여 광범위한 프로세스를 수용할 수 있습니다. 스캐닝 방향, 스캔 속도, 노출 강도는 다른 프로세스 매개변수를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 기계에는 자동 노출 도구 (Automatic Exposure Tool) 가 장착되어 있어 다양한 이미지 크기에 걸쳐 프로세스 균일성과 정확성을 보장하기 위해 정확한 노출 제어 (Exposure Control) 가 가능합니다. 조명 광학 측면에서 CANON PLA-600F는 Microscope Objectives, Macro Objectives 및 Field Objectives를 선택하여 다양한 렌즈를 수용 할 수 있습니다. 이 넓은 "렌즈 '를 선택 하면 기계 는 크기 와 모양 이 서로 다른 기판 들 을 정확 하게 정렬 할 수 있다. 자산 내에는 고급 조명 균일성 제어를 위해 CANON Sensor Array Model도 포함되어 있습니다. 이 장비는 한계 조명과 기질 노출 시간의 균일성을 제어하기 위해 작동 할 수 있습니다. CANON PLA-600 F는 또한 처리 중 스테이지에서 기판을 단단히 고정시키는 CLASS-SEV 진공 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 또한 깨끗하고 파편이없는 진공 환경을 보장합니다. 기계 의 "스테이지 '역시 사용 하기 가 매우 쉬우며, 간단 하고 직관적 인 사용자" 인터페이스' 를 통해 조정 할 수 있다. 요약하자면, PLA-600 F 는 다양하고 정확한 Mask Aligner 머신으로, 다양한 프로세스를 처리할 수 있습니다. 다양한 렌즈, 센서 어레이 머신 (Sensor Array Machine) 및 CLASS-SEV 진공 공구가 장착되어 있으며 모두 정확한 정렬, 조명 균일성 및 깨끗함을 보장합니다. 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 이 시스템을 쉽게 사용할 수 있으므로 원활하고 효율적인 운영을 보장할 수 있습니다.
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