판매용 중고 CANON PLA 600 #293660393

캐논 플라 600 (CANON PLA 600) 은 반도체 산업을위한 포토 마스크 패턴의 광학 근접 보정을 위해 특별히 설계된 마스크 정렬 자입니다. 완전 자동화된 고정밀도 (High-Precision) 툴로, 기존 석판화 장비에 비해 높은 수준의 반복성과 빠르고 정확한 마스크 정렬을 지원합니다. PLA 600은 마스크 정렬에 대한 고해상도 제어 및 정확성을 제공하는 선형 이동 드라이브 시스템을 사용합니다. 정렬 정확도는 XY 모드의 경우 0.12 µm (6sigma), 각도 모드의 경우 0.20 µm (6sigma) 입니다. 이렇게 하면 포토 마스크 (photomask) 에 형성된 패턴이 레티클의 패턴과 정확하게 일치하여 원하는 광학 근접 교정을 달성할 수 있습니다. 또한 CANON PLA 600 은 마스크 정렬 프로세스 (mask alignment process) 를 완벽하게 자동화하고 프로세스를 정확하게 제어할 수 있는 고급 기능을 제공하는 강력한 소프트웨어 패키지를 제공합니다. 소프트웨어는 다양한 패턴을 지원하며, 노출 시간, 포커스 위치 (focus position) 등과 같은 프로세스 매개변수를 최적화하여 최적의 마스크 정렬을 위해 사용할 수 있습니다. PLA 600 은 또한 고정밀도, 자동화된 포지셔닝 시스템을 갖추고 있어 수동 정렬에 걸리는 시간 중 일부에 레티클 (reticle) 을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이를 통해 photomask 패턴이 최소한의 인간 입력과 정확하게 정렬됩니다. 마지막으로, CANON PLA 600은 긴 서비스 수명을 가지고 있으므로 장기 생산에 이상적인 옵션입니다. 이 도구는 현대 반도체 생산 공정의 엄격한 공차 (Tolerance) 및 표준을 충족하도록 설계되었으며, 문제 없이 최대 10 년간 지속적으로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 반도체 마스크 정렬을 위한 안정적이고 비용 효율적인 선택입니다.