판매용 중고 CANON PLA 600 FA #9309547

캐논 플라 600 FA (CANON PLA 600 FA) 는 기판에 여러 레이어를 정확하고 정확하게 정렬하여 미세한 소규모 패턴을 생성 할 수있는 마스크 정렬기입니다. 이 장비는 레이저 진공 노출 기술을 사용하여 최대 8 ½ "x 11" 마스크를 빠르게 처리합니다. CANON PLA-600FA는 두 가지 주요 구성 요소 인 진공 실과 내장 시력 시스템으로 구성됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 동시 처리에서 여러 마스크를 노출 할 수 있도록 설계되었습니다. 6 개의 스테인리스 스틸 플레이트 (stainless-steel plate) 를 통해 챔버는 진공력을 만들어 기판의 마스크를 단단히 고정하고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 내장형 비전 (vision) 장치를 사용하면 10 미크론의 고해상도를 통해 각 레이어의 위치와 노출 수준을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기계는 생산 효율성을 높이기 위해 최대 200 개의 설정을 저장할 수도 있습니다. PLA 600FA (PLA 600FA) 는 또한 탁월한 이미지 보존을 제공하여 뛰어난 반복성으로 최대 1 미크론의 패턴 크기를 달성할 수 있습니다. 또한이 도구는 스프레이 청소, 공기 청소, 스핀 린스 클리닝 (spin-rinse cleaning) 등 여러 웨이퍼 청소 기능을 갖춘 자동 청소 자산을 제공합니다. 고급 기능을 갖춘 CANON PLA 600FA는 고급 IC 장치 (예: 파인 라인 리소그래피 및 파인 라인 패턴) 의 제작에 사용하도록 설계되었습니다. 유연성과 정밀성 덕분에, 이 모델은 멀티 레이어 처리가 필요한 모든 종류의 접착제 (adhesive bonding) 및 기판에 적합합니다. 이 장비에는 '안전 셔터 가드 (Safety Shutter Guard)' 를 비롯한 다양한 안전 기능이 장착되어 있어, 사용자가 챔버 내부의 레이저에 접근하지 못하도록 하고 있습니다. 전체적으로, PLA-600FA는 정밀하고 정확성이 높은 미세 패턴 (fine-line pattern) 과 복잡한 소규모 패턴 (small-scale pattern) 의 생산에 이상적인 고급 석판화 시스템입니다. 이 장치는 고급 (advanced) 기능 외에도 사용자 보호 극대화, 운영 효율성 향상을 위한 다양한 안전 (safety) 기능을 제공합니다.