판매용 중고 CANON PLA 600 FA #9226487

CANON PLA 600 FA는 마스크 정렬 기이며, 이는 반도체 리소그래피 프로세스에 사용되는 도구입니다. photomask 템플릿에서 기판 표면으로 패턴을 전송하는 데 사용됩니다. @ info: whatsthis 기구 는 "레이저 '원 의 자외선 을 이용 하여 기판 의" 패턴' 을 전달 하기 전 에 "포토마스크 '를 기판 에 맞추어 정확 하게 정렬 시킨다. 이 기기의 기본 너비는 600mm, 최대 기판 직경은 450mm 인 비교적 큰 작업 영역을 가지고 있습니다. 0.1 미크론의 해상도와 0.5 미크론의 Z 반복성으로 매우 정확한 높이 조정이 가능합니다. 또한 웨이퍼 인덱싱 시스템 (wafer indexing system) 과 자동 초점 함수 (auto focus function) 가 제공되어 photomask와 기판 사이의 정확한 정렬이 가능합니다. 실시간, 고속 제어 측면에서 CANON PLA-600FA에는 자동 패턴 검색 시스템 (Automatic Pattern Search System) 이 있어 필요한 패턴을 식별하기 위해 대용량 샘플을 위에서 아래로 스캔할 수 있습니다. 이 시스템을 사용하면 대형 온칩 (On-Chip) 장치 또는 대용량 영역 격자에 대한 패턴 검색 시간을 줄일 수 있습니다. 다른 기능으로는 자동 노출 타이머 (Automatic Exposure Timer) 와 향상된 광 투사 모듈 (Light Projection Module) 이 있으므로 보다 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 안전 성능 측면에서 PLA 600FA는 먼지 방지 (dust-proofing) 및 정적 방지 (anti-static) 조치 측면에서 모든 현재 업계 표준을 충족합니다. 또한 수동/자동 작동 모드를 모두 갖춘 간편한 유지 관리 (Maintenance) 및 간편한 운영을 위해 설계되었습니다. 전반적으로, PLA-600FA는 반도체 산업의 리소그래피 프로세스에 적합하며, 안전하고 효율적인 방식으로 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다. 넓은 작업 영역, 높은 정확도 높이 조정, 고속 실시간 제어, 다양한 안전 기능으로, 다양한 리소그래피 (lithography) 프로세스에 사용할 수있는 다양하고 신뢰할 수있는 도구입니다.