판매용 중고 CANON PLA 600 FA #9152979

CANON PLA 600 FA는 웨이퍼 레벨 사진 해설에 이상적인 마스크 정렬 자입니다. MEMS, 나노 전자 장치, 옵토일렉트로닉스 (optoelectronics) 와 같은 분야의 어플리케이션을 위해 높은 수율로 패턴과 구조를 빠르게 제작하는 데 도움이됩니다. 이 기계는 최대 24 마일 (0.14 마일) 의 직사각형 이미지를 스티칭하며 최소 기능 크기는 0.14 마일입니다. TTL 레이저 다이오드 빔, X-Y 인덱서를 통한 웨이퍼 포지셔닝, 4 축 회전 및 웨이퍼 패턴 중심 측정이 가능한 임계 정렬 (critical alignment) 이 특징입니다. CANON PLA-600FA는 24 위치 자동 로드/언로드 홀더를 가지며 6 "~ 8" 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼는 최대 200mm 두께가 될 수 있습니다. 이미징 머신은 매우 민감한 32 비트 LSI 색상을 사용하며 특수 800 dpi 감광 타일에 마스크가 생성됩니다. 이것은 낮은 선 너비 스프레드로 매우 높은 해상도를 보장합니다. 이 시스템은 Intel 기반 플랫폼에서 작동하며 19 "모니터 및 PC 기반 소프트웨어를 갖춘 Graphical User Interface와 함께 사용할 수 있습니다. 소프트웨어는 사용자 친화적이며, 마스크 정렬기를 쉽게 설치, 제어할 수 있습니다. 또한 PLA 600FA는 자동 슬리터, 건조 오븐, 핫 스테이지 척 테이블 등의 주변 장치를 제공합니다. 이 기계는 또한 얇고 두꺼운 유형에서 평평하고 곡선 (flat and curved) 까지 여러 웨이퍼를 유연한 진공 척 웨이퍼 처리 할 수 있습니다. 또한, 실리콘, 저k, 질화물, 포스 포실 리트 유리 및 갈륨 비소와 같은 다양한 조성의 웨이퍼 기질을 처리 할 수 있습니다. 또한 PLA-600FA에는 최첨단 레이저 양방향 스캐닝이 장착되어 있어 이미지 왜곡을 손쉽게 보상할 수 있습니다. 또한 자동 포지셔닝, 자동 초점, 자동 노출 등 사용자 친화적인 여러 자동 기능을 제공합니다. 전반적으로 PLA 600 FA는 MEMS, 나노 전자 및 광전자 (optoelectronics) 의 응용 분야를 위해 높은 수율로 패턴과 구조를 제작하기위한 이상적인 마스크 정렬 자입니다. 레이저 양방향 스캔, 다양한 웨이퍼 기판 구성 처리, 32 비트 LSI 색상, 고해상도 이미징, 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 및 여러 자동 기능과 같은 고급 기능을 자랑합니다.