판매용 중고 CANON PLA 600 FA #9148245

CANON PLA 600 FA는 고급 리소그래피 기술에 사용하도록 설계된 고정밀 마스크 정렬기입니다. 넓은 영역에 대한 정확한 패턴화를 보장하는 매우 높은 정확도를 제공합니다. 따라서 photomask 해상도를 높이지 않고 원하는 디자인을 만들 수 있습니다. 마스크 정렬기는 355 ~ 420 nm 범위에서 작동하며 600mm의 큰 필드 크기를 갖습니다. 또한 1x에서 16x로 높은 해상도를 제공합니다. 마스크 정렬 자 (mask aligner) 는 1 미크론 순서로 정렬을 수행 할 수 있으며, 이는 서브 미크론 피쳐의 생산에 필요하다. 스캐너에는 0.8 미크론의 해상도와 0.1 미크론의 반복 성을 가진 내장 공기 베어링 스테이지가 있습니다. 이 단계는 마스크와 웨이퍼를 정확하게 정렬하도록 설계되었습니다. 또한 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있으며, 이 카메라는 픽셀 크기가 5 "m '이고 측면 해상도가 4" m' 입니다. CCD 카메라는 homodyne, 자동 상관 관계 및 그라디언트 기술을 사용하여 정렬 정확성을 보장합니다. 마스크 정렬기에는 Actinictm 웨이퍼 스테이지도 장착되어 있습니다. 이 단계는 10 미크론 스테이지 해상도와 1 미크론의 반복성으로 5 배의 확대를 갖습니다. 또한, 스캐너 (scanner) 는 빠르고 안정적인 스캔 프로파일을 허용하는 빔 스캐닝 시스템을 갖추고 있습니다. CANON PLA-600FA 마스크 정렬기에는 능력을 향상시키는 소프트웨어도 장착되어 있습니다. LexEco 툴킷은 최적의 노출 시간, 용량 등 다양한 매개변수를 관리하는 데 사용됩니다. 이렇게 하면 정렬자가 적절한 데이터 수집 및 분석에 필요한 매개변수가 있어야 합니다. 또한 결함 감지, 웨이퍼 매핑 및 거리 측정 기능이 있습니다. PLA 600FA 마스크 정렬기는 리소그래피 기술을위한 매우 정확한 도구입니다. 정확성과 해상도는 서브 미크론 기능 생산에 적합한 선택입니다. 에어베어링 (Air Bearing) 과 웨이퍼 스테이지 (Wafer Stage) 가 내장되어 있어 마스크를 웨이퍼와 일관되게 정렬할 수 있으며, 추가 소프트웨어와 기능으로 인해 많은 특정 작업에 알리그가 적합합니다.