판매용 중고 CANON PLA 600 FA #9049411
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ID: 9049411
웨이퍼 크기: 5"
Mask aligner, 4"
Illumination system: 250W:
Mirror lens tarnishing: yes
1st Mirror type: backside
2nd Mirror type: backside average
Condenser lens: 6"
Filter: N/A
Objective lens drive: Chain
Eyepiece lens: x10 / Objective lens x10
Down stopper: N/A
Pad size: 4"
Pad count: 3
XYZ: cross roller
W/C: standard
C/L: standard, cylinder
C-box MPU-II: ROM ver. VS60.
CANON PLA 600 FA는 마스크 정렬 기이며, 집적 회로 및 시스템 생산에 사용되는 기기입니다. 이 도구는 반도체, 인쇄 회로 기판, 기타 회로 기반 부품의 생성 과정에서 재료를 패턴화하는 데 사용되는 마스크 (positioning mask) 를 정확하게 정렬하고 배치할 수 있는 매우 정확하고 다양한 도구입니다. CANON PLA-600FA 마스크 정렬기의 주요 장점은 큰 반복 가능성, 정확도 및 속도로 마스크 정렬 및 패턴 기능입니다. 정렬기는 고정밀도, 노출 단계, 이미징 시스템, 가변 배율을 갖추고 있어 매우 정밀하고 마이크로 미크론 (micro-micron) 수준의 패턴을 만들 수 있습니다. 또한 정밀 패턴화가 가능하여 문제 영역을 세밀하게 튜닝 할 수 있습니다. PLA 600FA 를 제대로 작동하려면 먼저 마스크 (Mask) 를 노출 단계에 로드해야 합니다. 이 마스크는 Z축 및 X-Y 좌표 배치 시스템을 사용하여 정확하게 정렬됩니다. 이어서, 영상 "시스템 '은 입사광 의" 에너지' 를 측정 하는 데 사용 되는데, 이것 은 "마스크 '에 있는" 패턴' 을 생성 할 노출 과정 을 활성화 시키는 데 사용 된다. CANON PLA 600FA 마스크 정렬기의 힘과 정확도를 통해 마스크 패턴을 균일성 (unifority) 과 제어 (control) 로 표시할 수 있습니다. 따라서 스티칭 (stitching), 스텝 앤 리피트 (step and repeat), 식별 마크, 클래식 리소그래피, 사진 해설법, 미세 조정 프로세스 등 다양한 프로젝트 및 응용 프로그램에 적합합니다. 마지막으로, PLA 600 FA 마스크 정렬기 (FA Mask Aligner) 는 시설의 다른 도구와 인터페이스되어 전체 패턴 장비 제품군에 업스트림 (Upstream) 통합이 가능합니다. 따라서, 처리 시간을 줄이고, 처리량을 늘리고, 정밀 구성 요구를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공할 수 있습니다.
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