판매용 중고 CANON PLA 600 FA #9015364

CANON PLA 600 FA는 CANON ASIA에서 제작 한 고급 사진 석판 마스크 정렬 자입니다. 첨단 기술 (Advanced Technology) 은 석판화 공정에서 높은 정밀도가 필요한 제품에 대해 매우 정확하고 안정적인 마스크 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. CANON PLA-600FA는 웨이퍼 마스크와 웨이퍼 또는 기판 서피스 간의 정렬을 지원하도록 구성됩니다. 공기 베어링 단계, 광 수용체 단계, 조명 탐지 단계, 웨이퍼 전송 장치 (wafer transport unit) 와 같은 주요 구성 요소로 구성되어 있으며, 모두 정밀 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. 공기 베어링 단계는 마스크 스테이지 및 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 에 최적의 작동 환경을 제공합니다. 이것 은 극히 매끄럽고 정확 한 운동 을 위해 저조도 "엘라스토머 '층 에 기여 하는 소형 공기 베어링" 카아트리지' 를 통해 달성 된다. 또한, 2 개의 선형 가이드 레일로 구성된 평면 내 모션 시스템 (In-Plane Motion System) 을 사용하여 높은 정확도의 스테이지 이동 및 위치를 보장합니다. 광 수용체 단계는 웨이퍼와 마스크 패턴 사이의 정확한 매핑을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이것은 스테퍼 모터 확대/축소 메커니즘에 의해 활성화되며, 이는 정확도가 높은 최대 700 미크론 (micron) 의 시야를 제공 할 수 있습니다. 또한, 통합 이미징 시스템은 4 개의 촬영 각도에서 가져온 이미지를 캡처하고 이중 UV-IR 광원은 검사 목적으로 웨이퍼 및 마스크 단계를 조명합니다. 가벼운 감지 단계는 장기적인 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 이것은 비접촉 (non-contact) 광 전원 탐지기 (optical power detector) 를 통해 이루어지며, 이는 웨이퍼 및 마스크에 의해 방출되는 광도를 정확하게 감지하여 정확한 정렬을 보장합니다. 마지막으로, 웨이퍼 전송 장치는 웨이퍼 및 마스크를 빠르고 효율적으로 이동할 수 있습니다. 이것은 가변 피치 코일 (variable pitch coil) 을 사용하여 활성화되며, 이는 기존의 리드 스크류 시스템보다 더 큰 매끄러움에 기여합니다. 전체적으로 PLA 600FA는 고급적이고 정확하며 신뢰할 수있는 마스크 정렬 자입니다. 첨단 기술은 웨이퍼 마스크 (wafer mask) 와 웨이퍼 (wafer) 또는 기판 서피스 (substrate surface) 사이에 매우 정확하고 안정적인 정렬을 제공하도록 설계되었습니다.