판매용 중고 CANON PLA 600 FA #33364

CANON PLA 600 FA는 사진 해설에 사용하도록 특별히 설계된 마스크 정렬 자입니다. 이 장치는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하며 반도체 장치 제작, 유기 (organic) 및 무기 (organic) 박막 증착, 복제 등의 애플리케이션에 적합합니다. 마스크 정렬기의 크기는 1060 × 830 mm이며 시간당 6,000 웨이퍼의 최적의 생산성을 갖습니다. 생산성을 극대화하기 위해 서로 독립적으로 움직이는 2 개의 전동 마스크 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한, 마스크 정렬기는 정확하고 반복 가능한 리소그래피 프로세스를 허용하는 고급 제어 메커니즘을 사용합니다. CANON PLA-600FA는 가시, 아르곤 이온 레이저 및 자외선 (UV) 제논 플래시 램프의 두 가지 레이저 소스로 구동됩니다. 아르곤 이온 레이저는 504-514 나노 미터의 넓은 파장 범위를 제공하며 < 2 미크론의 광학 해상도를 제공합니다. 자외선 제논 플래시 램프 (UV xenon flash lamp) 는 248 나노미터 파장에서 저항 패턴을 만들고 검사하는 데 사용됩니다. 이 장치에는 또한 매우 높은 정밀도의 사전 정렬 장치 (Pre-Alignment Unit) 가 있습니다. 이 장치는 패턴 일치 점을 측정하고 왜곡을 인식하여 마스크를 웨이퍼에 정확하게 배치합니다. 이 마스크 정렬기에는 DSP (Digital Signal Processing) 시스템이 장착되어 있어 이미지 크기, 위치 및 변형을 제어할 수 있습니다. 또한 고속, 고정밀 정렬 정확도로 고정밀 패턴을 만들 수 있습니다. 자동화된 정렬 및 이미징은 4축 모터를 사용하여 수행되며, 이 모터를 사용하면 빠르고 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 이 장치는 또한 크기가 2 미크론까지 매우 작은 입자를 감지 할 수 있습니다. PLA 600FA는 또한 고급 수치 최적화 알고리즘을 통해 프로세스 수율을 향상시키고 리소그래피 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 작업 정의 기능 (Task-Defined Feature) 을 통해 사용자는 작업을 특정 단위에 할당하고 각 작업에 대해 시스템을 자동으로 최적화할 수 있습니다. 또한 CANON PLA 600FA에는 진단 기능 및 자체 진단 시스템이 내장되어 있어 사용자가 쉽게 진단하고 문제를 해결할 수 있습니다. 마지막으로, PLA 600 FA는 높은 정확성과 빠른 처리가 필요한 사진 분석 프로세스에 적합합니다. 이 장치는 산업용 어플리케이션에 이상적이며, 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적입니다.