판매용 중고 CANON PLA 600 FA #293823394
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캐논 플라 600 FA (CANON PLA 600 FA) 는 광학, 마이크로 일렉트로닉스, 생명 공학 및 기타 관련 분야의 고밀도 마이크로 농축 장치의 제조 및 테스트를 위해 특별히 설계된 정밀 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 레이저 리소그래피, 정밀 필름 및 웨이퍼 정렬, 고정밀 광학 개발 및 검사 기능과 같은 고급 기술을 사용합니다. 이 시스템은 광학 장치 (optical device) 와 집적 회로 (integrated circuit) 의 제조 프로세스와 박막 부품, 표면 마이크로 머신 (surface micromachining) 및 기타 박막 장치의 생산에 사용됩니다. 이 장치는 고해상도, 높은 정확도 정렬 성능과 최대 690 × 490 mm의 넓은 시야를 갖추고 있습니다. 또한 고급 고해상도 고속 프로젝터 (High-Resolution, High-Speed Projector) 를 통해 향상된 정렬 정밀도와 기판 처리에서 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 이 기계에는 고급 레이저 스캐닝 광학 도구와 함께 아히 정밀 컴퓨터 제어 모터 (ahigh-precision computer-controlled motor) 및 정밀 포지셔닝 (precision positioning) 을 갖춘 동력 기판 스테이지가 포함됩니다. 빠른 정렬 및 최적화를 위한 통합 고속 투사 에셋이 있습니다. 이 모델에는 자동 광학 보상 기능 (Optical Compensation Feature) 과 독립적인 빔 스플리터 (Beam Splitter) 및 고해상도 이미징, 베벨링 및 프로파일링 응용 프로그램을위한 회절 요소가 장착되어 있습니다. 조정 가능한 정렬 정확도, 별점 크기 및 노출 양자를 지원합니다. 또한 고급 정렬 보상 도구 (Advanced Alignment Compensation Tools) 를 통해 정렬하는 동안 가장 높은 해상도와 정확도를 보장합니다. 이 장비는 3D 정렬 기능도 제공하며 다양한 재료에 적응 할 수 있습니다. 이 시스템은 소형 빔 직경 (beam diameter) 을 갖춘 고속 이미징 기능을 갖추고 있어 고해상도 이미징 (imaging) 을 보장하는 동시에 다양한 필드 이미징 (field imaging) 을 제공합니다. 저진동, 공랭식 광학 프로젝션 장치로 설계되었습니다. 이 기계는 필요에 따라 쉽고 빠르게 변경할 수 있는 표준, 교환 가능한 컴포넌트 (standard, interchangable component) 의 조합으로 설계되었습니다. 또한 고급 광학 도량형 (Optical Metrology), 테스트 (Testing) 및 이미징 (Imaging) 기능을 통해 빠르고 정확한 제품 측정 및 테스트를 수행할 수 있습니다. 자산은 고급 이미징 모델 (advanced imaging model) 로 설계되어 현장/원격에서 고해상도 이미지를 제공하여 제조 공정에 대한 신속한 진단 및 수정 (corrective) 분석을 제공합니다. CANON PLA-600FA는 강력하고 안정적인 장비로, 제품의 신뢰성과 정확도를 크게 높여줍니다. 고밀도 소액화 장치 (microfricated device) 의 제조 및 테스트를 위해 특별히 설계되었으며 광학, 마이크로 일렉트로닉 및 기타 관련 분야를위한 귀중한 도구입니다.
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