판매용 중고 CANON PLA 600 FA #293747917
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CANON PLA 600 FA는 nanoimprint lithography와 같은 고정밀 제조 공정에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 고출력 광원을 사용하여 기판 위에 포토 마스크 (photomask) 를 정확하고 정확하게 정렬하는 정밀 기계입니다. 이 장비는 정밀한 정렬 및 오버레이 제어가 필요한 어플리케이션에 사용하도록 설계되었습니다. CANON PLA-600FA 마스크 정렬기는 가장 정확한 제조 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 광시야가 넓고 초점 길이가 길어서, 광도마스크 (photomask) 를 기판 위에 정렬할 때 정확성을 보장합니다. 이 시스템은 또한 정확한 반복성을 가지고 있으며, 프로세스 전반에 걸쳐 일관성과 신뢰성을 보장합니다. 마스크의 정확한 정렬은 또한 ICT (Imaging Confirmation Technology) 를 사용하여 이루어지며, 이를 통해 정렬을 정확하게 판단할 수 있습니다. 또한 ICT는 마스크의 깊이와 위치를 최적화하여 마스크 오버레이 정확도를 더욱 향상시킵니다. 이 장치는 정밀 이미징을위한 고출력 광원을 특징으로하며, 파장 범위는 250 ~ 1100nm입니다. PLA 600FA (PLA 600FA) 는 최소 150 ~ 1000äm 크기의 다양한 크기로 사용될 수 있으며, 광범위한 프로젝트를 높은 정확도로 완료할 수 있습니다. 이 기계는 최고 속도 25mm/sec의 고효율 마스크 XY 스테이지와 최대 속도 8mm/sec의 대칭 XY 스테이지를 포함하여 포토 마스크 및 기판을 조정하기위한 다양한 단계를 갖추고 있습니다. 이 도구는 또한 최종 패턴의 변형을 최소화하기 위해 다양한 수정 서비스 (예: 실시간 왜곡 수정 및 오류 감소) 를 지원합니다. PLA-600FA는 또한 최대 두께가 1000nm인 박막 증착을 지원합니다. 자산은 작동하기 쉽고, 자동화되어 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 전체적으로, PLA 600 FA는 가장 정확하고 정확한 요구 사항을 충족하도록 설계된 뛰어난 마스크 정렬기입니다. 강력한 광원, 정교한 이미징 모델, 다양한 수정 기술을 통해 나노 임프린트 리소그래피 (nanoimprint lithography) 및 기타 정밀 제조 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다.
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