판매용 중고 CANON PLA 600 FA #151689

CANON PLA 600 FA는 마이크로 및 나노 스케일 수준의 정밀 사진 해설을 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 컴퓨터 제어 (computer-controlled) 방식의 고급 웨이퍼 스테퍼 (stepper) 로서 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 마스크 정렬기에는 크세논 램프, 스캐너 및 6 인치 둥근 유리 플레이트가 특징 인 스테이지가 있습니다. 이 단계는 200mm 웨이퍼에서 페트리 접시까지 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 스캐너와 램프는 정밀 포지셔닝을 위해 자동화된 정밀 x-y 드라이브에 연결됩니다. 스테이지에는 5-400mm의 초점 거리와 비 수동 초점 오버라이드가 장착되어 있습니다. 초점 거리와 초점 재정의 (focus override) 를 함께 사용하면 광학을 x-y 조정하여 기판의 정확한 각도 배치를 달성할 수 있습니다. CANON PLA-600FA 는 단일 웨이퍼에 여러 마스크를 동시에 정확하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. 마스크는 마스크 판독기에 배치되며, 마스크 판독기는 단일 (single) 또는 이중 (dual) 모드로 설정할 수 있습니다. 마이크로 스테퍼 모터 (micro-stepper motor) 에 의해 구동되는 판독기는 마스크 방향을 읽고 저장하며, 이를 통해 마스크 (mask) 를 웨이퍼 (wafer) 에 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한 이 시스템에는 메모리 저장 장치 (memory storage) 가 장착되어 있어, 운영자가 나중에 사용할 수 있도록 최대 3개의 마스크 방향 설정을 저장할 수 있습니다. 마스크 정렬자 (mask aligner) 의 가장 고급 기능은 백사이드 정렬로, 인쇄된 기판에서 다중 마스크 방향을 정확하게 제어할 수 있습니다. 뒷면 정렬 기능을 사용하면 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 를 원격으로 제어할 수 있으므로 수동 개입이 필요 없습니다. PLA 600FA (PLA 600FA) 는 또한, 운영자가 여러 마스크를 정확하게 추적하고 정렬할 수 있도록 하는 통합 소프트웨어를 제공합니다. 이 소프트웨어는 또한 마스크 정렬을 정확하게 미세 조정할 수 있는 다중 레벨 (multi-level) 제어 옵션을 제공합니다. 전반적으로 CANON PLA 600FA (CANON PLA 600FA) 는 첨단 유연성이 뛰어난 마스크 정렬기로, 마이크로 및 나노 스케일의 어플리케이션에 뛰어난 정확성과 제어를 제공합니다. 리토그래피 (lithography) 를 인쇄하기 위한 강력한 도구로서, 사용자가 특정 요구 사항을 충족할 수 있도록 다양한 기능을 제공합니다.