판매용 중고 CANON PLA 501 #9301351

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ID: 9301351
Mask aligner.
CANON PLA 501은 고유하고, 저렴하며, 사용하기 쉬운 디자인을 갖춘 데스크탑 마스크 정렬기입니다. 이 제품은 공간 정확도와 정확도가 높아 우수하고 반복 가능한 리소그래피 성능을 제공합니다. 이 장비에는 자동 정렬 (automatic alignment) 및 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능이 있어 광학 석판법과 관련된 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 캐논 플라-501 (CANON PLA-501) 은 높은 해상도, 높은 에너지, 낮은 왜곡 감지 시스템을 갖추고 있어 마스크 및 웨이퍼 레벨에서 정확한 정렬 및 정의를 제공합니다. 이 장치는 CANON 독점 펄스 레이저 기술로 구동되며, 단일 작업에서 여러 가지 노출을 수행 할 수 있습니다. 기계 는 일련의 "펄스 '폭 과 강도 를 사용 하여" 마스크' 나 "웨이퍼 '를 정확 하게 노출 시킨다. 독특 한 "레이저 '배열 은" 마스크' 나 "웨이퍼 '를 가로질러 그 노출 이 균일 함 을 보장 해 준다. 이것은 더 적은 인공물로 최적의 결과를 촉진합니다. 이 도구는 노출 분포 및 초점 향상을 위해 2 단계 노출 프로세스를 사용합니다. 첫 번째 단계는 마스크 패턴을 빠르고 정확하게 감지하는 정렬 (alignment) 방법입니다. 두 번째 단계 에서는, 최적 의 용량 과 노출 이 기판 에 적용 된다. 이렇게 하면 패턴이 기판으로 일관되게 전송됩니다. 자산에는 노출 매개변수를 최적화하여 정밀도 (precision) 와 반복 (repeatability) 을 향상시킬 수있는 고급 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 또한 정렬 확인 (Alignment Verification), 자동 노출 최적화 (Automated Exposure Optimization), 측정 피드백 제어 (Measurement feedback Control) 등 여러 도구의 통합으로 인해 처리량이 높고 성능이 효율적입니다. 소프트웨어는 사용하기 쉽고, 모든 언어로 작동할 수 있습니다. PLA 501에는 다양한 기능이 있으며, 이는 기본적인 연구와 상업적 응용에 이상적입니다. 이 모델은 다양한 기판의 리소그래피 (lithography) 를 포함하여 다양한 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 독보적인 설계와 사용자 친화적 기능을 통해 모든 실험실에서 탁월한 옵션을 선택할 수 있습니다.
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