판매용 중고 CANON PLA 501 #9259719

CANON PLA 501 Mask Aligner는 마이크로 일렉트로닉 장치의 제조에 사용되는 포토 리토 그래피 장비입니다. 진공 척 (vacuum chuck) 과 마스크 (mask) 공정을 활용하여 기판의 얇은 필름에 패턴을 빠르고 정확하게 정렬하고 노출시킵니다. 캐논 플라-501 (CANON PLA-501) 은 정밀 조정과 우수한 기능 일관성을 제공하기 위해 운영 라인에 비용 효율적인 추가입니다. 이 정렬기는 1.25 인치 간격과 초점 범위가 8.5 마일 인 최대 4 인치 기판 또는 9 x 10.5 인치 조각에 적합합니다. CANON PLA 501mask aligner는 높은 해상도로 제어되는 스테퍼 모터와 이중 인코더를 사용하여 정확한 패턴 정렬을 달성합니다. 그것 은 두 가지 주요 성분, 즉 본체 와 광학 정렬 광학 과 "마이크로알리너 '를 가진 진공 머리 로 구성 되어 있다. 본체에는 진공 척, 마스크 정렬 조리개 및 노출 램프가 있습니다. 진공 헤드 (vacuum head) 는 기판을 고정시키고 마스크를 정확한 정렬을 위해 위치로 옮기는 데 사용됩니다. 머리 는 기계 의 밑면 에 붙어 있고, "마스크 '는 광학 정렬 확대" 시스템' 을 사용 하여 평면 에 맞춘다. PLA 501 머신 (PLA 501 Machine) 의 노출 시스템은 여러 램프와 컨트롤러로 구성되며, 미리 정해진 설정에서 노출 양을 조정합니다. 노출 램프는 슬라이더 (Slider) 블록에 장착되어 있어 쉽게 노출될 수 있습니다. 노출 컨트롤러 (Exposure Controller) 는 빔의 강도를 측정하고 노출 출력을 생성하여 노출 시간을 결정합니다. 또한 노출 보상 (Exposure Compensation) 및 수동 또는 자동 노출 (Auto Exposure) 모드 선택을 프로그래밍할 수 있습니다. PLA-501 기계는 비교적 작은 장비입니다. 치수는 26.77 "W x 26.77" D (진공 헤드 포함) 이며 무게는 59 파운드이며 6 '공간에 적합 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 UL-60079-1 (UL-60079-1) 의 안전 인증을 받았으며, 가장 민감한 기판에도 필요한 보호 기능을 제공하도록 설계되었습니다. CANON PLA 501 Machine은 CANON이 개발 한 독점 소프트웨어 인 CANSCAN으로 구동됩니다. 마스크 레이아웃 (mask layout), 기판 선택 (substrate selection), 노출 매개변수 조정, 자동 및 수동 모드를 통한 정렬, 숫자 계산, 사전 설정 및 프로그래밍 가능한 노출 용량 등의 시스템 기능을 제어하는 인터페이스를 제공합니다. 전체적으로 CANON PLA-501 Mask Aligner는 컴팩트하고, 비용 효율적이며, 사용하기 쉬운 도구로, 정밀 정렬과 우수한 기능 일관성을 제공합니다. UL-60079-1 (UL-60079-1) 의 안전 인증을 받았으며 CANSCAN과 호환되므로 마이크로 일렉트로닉 장치 생산에 이상적인 기계입니다.