판매용 중고 CANON PLA 501 #9198592

캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 마이크로 일렉트로닉 장치의 생산에 사용되는 포토 리토 그래피 프로세스를위한 정밀 마스크 정렬 자입니다. 이 마스크 정렬기는 스캐닝 속도가 빠르고 정확도가 높아 집적 회로 웨이퍼의 정확한 리소그래피 (lithography) 를 허용합니다. 노출 파장은 248nm이며, 다른 파장에 대해 쉽게 구성 할 수 있습니다. 광학 장비는 안정적인 초점과 이미징 성능을 제공하도록 설계되었습니다. CANON PLA-501의 거주 면적은 4 인치이며 해상도는 0.2 미크론입니다. 정렬 및 리소그래피 정확도는 0.1 미크론으로 유지됩니다. 스캔 모드에는 단일, 긴 및 고정 필드 스캔이 포함됩니다. 정렬 장치는 특허 패턴 일치 시스템으로 최적화 할 수 있습니다. 노출 헤드는 스테퍼 제어를 가능하게하며 뛰어난 성능을 제공합니다. 고속 처리 능력은 분당 최대 50 사이클이며, 고품질 처리를 위해 공중 이미지 SNR이 40dB 이상입니다. 기판 변환 단계 단위 (옵션) 를 사용하면 다른 노출 사이에서 빠르게 변화하여 높은 정확도로 처리량을 얻을 수 있습니다. 마스크 알리그너 (Mask Aligner) 에는 긴 노출을 위해 온도를 안정화하기 위해 온도 조절 기계가 장착되어 있습니다. 정확한 온도 및 습도 조절은 노출을 개선하고 일관되게 가장 높은 정확도를 유지합니다. PLA 501은 또한 LCD 및 LED와 같은 FPD (Flat Panel Display) 시스템을 제공하며, 이는 다른 디스플레이 기술보다 더 효율적이고 가벼운 무게입니다. 이 정렬 도구 (Alignment Tool) 는 반사 및/또는 고도로 반사 표면의 공기 거품 때문에 왜곡을 줄일 수도 있습니다. PLA-501 마스크 정렬기를 구동하는 강력한 소프트웨어는 자산 설정 및 매개 변수를 사용자에게 친숙한 제어 기능을 제공합니다. 또한, 이 모델은 대용량 (High Volume) 생산의 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로 CANON PLA 501은 안정적이고 사용하기 쉬운 강력한 마스크 정렬기입니다. 정확도가 높은 고품질 집적 회로를 생산할 수 있습니다. 이 고급 사진 석판 도구는 디스플레이 패널, 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 장치 생산에 이상적인 선택입니다.