판매용 중고 CANON PLA 501 #9194809

CANON PLA 501은 반도체 장치 및 회로 보드 생산에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 오늘날의 디바이스 제조 프로세스 (device fabrication process) 에 대한 엄격한 요구를 충족시키면서 수율을 향상시키도록 설계된 완전 자동화 시스템입니다. CANON PLA-501은 컴퓨터 제어 옵틱을 사용하여 정렬 정확도를 높이는 고급 마스크 정렬기입니다. 시야는 최대 285mm (285mm) 이며, 더 넓은 범위의 웨이퍼 크기를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 정렬 정확도는 10 m 정도로 낮을 수 있으며, 고밀도 및 정밀 반도체 장치 생산에 유익했습니다. 또한, 웨이퍼의 mis-aligned chips 및 scratches 감소에 효과적입니다. PLA 501에는 이중 마감 시스템이 장착되어 있어 프로세스 유연성이 향상되었습니다. 이를 통해 단일 레이어 (single layer) 및 이중 레이어 패턴 웨이퍼 (double layer patterned wafer) 를 모두 처리할 수 있습니다. 또한 최대 45nm의 고급 오버레이가 있으므로 칩 성능의 예측 가능성이 높아집니다. PLA-501은 완전하게 자동화된 Wafer Fork 픽업 시스템을 통해 비용을 절감하는 프로세스 자동화를 제공합니다. 픽업 프로세스를 자동화하면 오염으로 인한 웨이퍼의 잘못된 정렬이 줄어듭니다. 따라서 인간의 오류를 크게 줄입니다. 즉, 시간당 최대 150개의 웨이퍼 (wafer) 의 빠른 처리 속도를 제공하여 자원을 확보하고 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 또한, 마스크 테이블의 온보드 압력 센서 (integrated pressure sensor) 는 이미지 전송에 필요한 압력 제어의 정확도를 향상시킵니다. 이 기계는 모든 마스크 정렬기 (mask aligner) 설정을 제어할 수 있는 수많은 사용자 인터페이스와 함께 사용 편의성과 유지 관리를 위해 설계되었습니다. CANON CLEAN EXCELL Cleaning Devaratus와 함께 사용하여 메모리 제작의 클리닝 시간을 줄일 수 있습니다. 전체적으로 CANON PLA 501은 정밀 정렬 정확성과 비용 효율적인 프로세스 자동화를 제공하는 고급 기계입니다. 반도체 제조에서 최고 품질의 장치 패턴화를 보장하면서 더 높은 수율을 제공합니다.