판매용 중고 CANON PLA 501 #9004050

캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 전자 기기의 제작에 필수적인 프로세스를 지원하도록 설계된 고급 마스크 정렬기입니다. photolithograph 프로세스를 위해 특별히 설계된 CANON PLA-501은 반도체 집적 회로 및 마이크로 일렉트로닉 장치의 다른 구성 요소 생산에 중요한 역할을합니다. PLA 501에는 마스크 정렬 프로세스를 최적화하기 위해 설계된 여러 기능이 장착되어 있습니다. 마스크 정렬기는 자동 진공 흡입과 함께 웨이퍼 스테이지 플레이트 (wafer stage plate) 를 특징으로하여 리소그래피 용 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이것은 마스크 패턴을 캡처하기 위해 마스크를 비추는 최고의 디지털 이미징 (digital imaging) 장비와 결합되어 있습니다. 이미징 시스템은 고해상도 CCD 카메라를 사용하며, 이 카메라는 0.5 m 이하의 해상도로 패턴을 캡처할 수 있습니다. 또한 PLA-501 은 완전하게 자동화된 포커스 조정 장치 (focus adjustment unit) 를 갖추고 있어 처리 중인 웨이퍼의 포커스를 광 소스의 포커스에 맞게 조정합니다. 이 머신을 사용하면 리소그래피 프로세스 (lithography process) 동안 초점 품질을 모니터링할 수 있으며, 재현 가능한 정렬 정확도와 최고 수준의 생산 해상도를 얻을 수 있습니다. 또한 마스크 정렬자 (mask aligner) 는 수차 및 기타 발생에 대한 패턴 정렬 및 회전을 특징으로하며, 이는 마스크 패턴의 이미지를 방해할 수 있습니다. 이러한 기능 외에도, CANON PLA 501 은 효율성 및 생산성 향상을 위한 다양한 자동화된 프로세스 옵션을 제공합니다. 사용자는 자동 화학 코팅 공정 (automated chemical-coating process) 을 선택할 수 있습니다. 이 공정은 화학 균일성과 향상된 접착 특성을 제공하며 자동 반사 방지 코팅으로 공기 역학적 간섭을 줄입니다. 또한 CANON PLA-501은 레이저 직접 쓰기 및 전자 빔 직접 쓰기 (electron-beam direct-writing) 와 같은 많은 프로세스 옵션을 제공하여 매우 정밀한 패턴 및 에칭 프로세스를 용이하게합니다. 전반적으로, PLA 501 (PLA 501) 은 마스크 패턴의 정렬을 지능적으로 관리하고 photolithograph 프로세스에서 이미지를 재생성하도록 설계된 고급 마스크 정렬기입니다. 마스크 정렬자 (Mask Aligner) 는 다양한 자동화 프로세스와 뛰어난 해상도를 제공하여 사용자가 생산에 가장 높은 정확도와 정확도를 얻을 수 있도록 합니다.