판매용 중고 CANON PLA 501 #293828883

캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 미세한 기능으로 마이크로 스케일 장치를 정확하고 효율적으로 제작 할 수있는 매우 정교하고 전문화 된 마스크 정렬 자입니다. 이 정렬기는 4 개의 긴 정렬 센서와 레이저 다이오드 (laser diode) 를 사용하여 기판의 접촉이없는 측정을 수행하는 4 포인트 중심 시스템을 결합한 고급 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 이를 통해 기판 간 등록 및 정렬의 정확성과 반복성이 향상됩니다. 또한 "알리너 '는 10X 현미경 객관식" 렌즈' 와 5X 현미경 접안 을 갖춘 정밀 광학 장치 를 자극 하여 숙박력 과 응용력 을 정밀 하게 조절 한다. 또한, 제어 마이크로프로세서는 0.1 ~ 2 백만 분의 1 미터의 범위로 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 또한 Aligner 는 신속하고 간편한 마스크 포지셔닝을 위한 통합 마스크 단계를 갖추고 있어 마스크 대 웨이퍼 (mask-to-wafer) 를 정확하게 등록할 수 있습니다. 마스크 단계를 조정할 수 있으므로 마스크 오버행 (mask overhang) 양을 변경할 수 있으며, 이는 초점 깊이를 0.05 ~ 0.7 마이크로미터 범위로 증가시킵니다. 가변 속도 마스크 평면 서보 드라이브는 마스크의 정확한 이동 및 위치 제어를 제공합니다. 마스크 스테이지의 오픈 프레임, 모듈 식 디자인은 혼잡 한 실험실 환경에서도 쉬운 접근성을 보장합니다. "마스크 '는 진공기 를 사용 하여 제자리 에 두며, 무대 자체 는 안정 되고 반복 할 수 있다. 호환 마스크에는 용액 가공 유기 저항제, LED 저항제, 포토 esist, 이산화실리콘 및 금속 마스크가 포함됩니다. CANON PLA-501 마스크 정렬기는 또한 통합 옵티컬 게이지와 자동 선명도 (sharpening) 기능으로 높은 정확성과 노출 설정 반복성을 제공합니다. 이 도구는 초고속 처리량 (시간당 최대 10개의 웨이퍼) 을 제공하도록 설계되었으며, 나중에 사용할 수 있도록 최대 2천만 개의 정렬 샷을 저장할 수 있습니다. 이 Aligner는 광학 게이지가 통합된 Photolithography 벤치를 포함하여 대부분의 표준 및 사용자 정의 Photolithography 벤치와의 호환성을 위해 설계되었습니다. 이로써 집적회로, "센서 '및 기타" 마이크로 스케일' 장치 제작의 생산성과 정확성을 높이려는 실험실에 이상적인 선택이다.