판매용 중고 CANON PLA 501 #293815056

CANON PLA 501은 뛰어난 성능과 안정성을 제공하는 고밀도, 전문적인 마스크 정렬기입니다. 설계를 정확하게 정렬 할 수있는 다이어프램 액츄에이터 (diaphragm actuator) 를 포함하여 두 가지 모션 컨트롤 시스템 (motion control system) 이 있으며 강력한 강화 소프트웨어로 정밀 조정이 가능합니다. 마스크 정렬 자 (Mask Aligner) 의 프로그래밍 가능한 두께 정확도는 0.3m이며, 사진 해설과 같은 고정밀 응용 프로그램에 이상적입니다. CANON PLA-501은 수동 및 자동 패턴화 프로세스를 모두 가능하게하는 대형 스테인리스 스틸 스테이지를 갖추고 있습니다. 4 축 단계는 2 개의 독립적 인 X 축 및 Y축 드라이브와 프로세스 제어를 위해 하나의 일반적인 Z축으로 구성됩니다. 또한, 기계는 0.5hm 해상도의 기판에서 풀 사이즈 마스크의 정확한 위치를 제공합니다. 기계 의 표면 은 "플라스틱 '방패 에 의해 보호 되는데, 이 방패 는 또한 적절 한 정렬 을 보장 하는 데 도움 이 되며" 포토리토그래피' 중 에도 더욱 노출 된다. 이 기계는 또한 자동 패턴 인식 (Automatic Pattern Recognition) 과 즉각적인 정렬을 제공하는 통합 레이저 스캐너 (Integrated Laser Scanner) 를 갖추고 있어 효율적이고 정확합니다. 또한, 처리하기 전에 기판의 초점 맵을 자동으로 생성하는 고급 자동 초점 (auto-focus) 기능이 있습니다. 또한 처리 중 사고를 방지하기위한 포괄적 인 안전 제어 시스템이 있습니다. PLA 501은 최첨단 기술과 정확성을 결합하여 다양한 고급 리소그래피 (lithography) 프로세스에 적합합니다. 사진 스텐실 링, 저항 개발, 스퍼터 코팅과 같은 다양한 응용 프로그램이 있습니다. 또한, 이 기계는 견고하고, 안정적이며, 유지 보수하기 쉽고, 운영자가 하나의 플랫폼에서 전체 리소그래피 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 결과적으로, 이 마스크 정렬기는 더 낮은 TCO (소유 비용) 로 일관되고 고품질의 결과를 제공합니다.