판매용 중고 CANON PLA 501 #293760365
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캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 기판에서 photoresist 패턴을 가장 정확하고 정확하게 전달하도록 설계된 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 다양한 유형의 마스크 및 기판과 호환되는 고효율의 정렬 시스템 (Alignment System) 을 활용합니다. CANON PLA-501은 3 가지 주요 구성 요소 (정렬/노출 헤드, 제어 장치 및 정렬 측정을위한 무비 카메라) 로 구성됩니다. 고정밀 정렬 헤드 (high-precision alignment head) 는 공랭식 (air-cooled) 과 전기식 (electrically cooled) 으로 확대된 광학 부품으로 구성되며 균등하고 상세한 정렬을 제공합니다. 헤드는 10 비트 마이크로컴퓨터 제어 장치 (microcomputer control unit) 에 연결되어 있어 원하는 마스크 정렬 및 노출 시간을 선택할 수 있습니다. 고급 무비 카메라는 정밀도 0.2 äm로 단일 측정 내에서 최대 256 x 256 정렬 지점을 측정 할 수 있습니다. PLA 501은 감광 물질의 고정밀 반복 노출을 위해 설계되었습니다. 광도, 초점, 노출 시간, 샷 영역, 파장 범위 등 다양한 노출 변수가 있습니다. 이 기계는 강력한 모델링 기능을 제공하는 고급 로직 (advanced logic) 운영 시스템 (operation system) 과 함께 제공되어 완벽한 정렬과 반복 작업을 보장합니다. PLA-501은 자동 중앙 집중화 (automatic centralization), 대칭 (symmetry) 및 바이어스 시프트 보상 (bias shift compensation) 과 같은 여러 기능 옵션을 갖추고 있어 고정밀 리소그래피의 요구 사항에 적합합니다. 캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 사용자에게 친숙한 제어 인터페이스를 제공하여 사용자가 신속하게 시스템을 설정하고 작동하고, 오류를 최소화하고, 효율성을 극대화할 수 있도록 합니다. 이 마스크 정렬기는 또한 신뢰성이 높은 자동 열 노출 및 화학 노출 시스템 (Automatic Thermal Exposed and Chemical-Exposed System) 과 함께 제공되므로 유지 관리 요구 사항이 최소화되어 탄력적인 작동을 보장합니다. CANON PLA-501은 최첨단 기술을 사용하여 인쇄 정확도, 정밀도, 속도 측면에서 탁월한 성능을 제공합니다. 마지막으로, 기계는 다양한 기판 및 기판 크기와 호환됩니다.
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