판매용 중고 CANON PLA 501 #293758566

CANON PLA 501은 자동 웨이퍼 사진 해설을 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 이 장치는 700mm x 300mm 의 넓은 시야를 통해 고품질 패턴을 제공하는 2 단계 프로젝션 장비를 사용합니다. 이 2 단계 시스템은 고속, 저에너지 정렬을 제공하여 사진 해설을 수행하는 시간과 비용을 줄입니다. 이 장치는 또한 뛰어난 해상도 기능을 갖춘 고대비 투사 장치를 갖추고 있습니다. 캐논 플라-501 (CANON PLA-501) 에는 최첨단 광학 머신이 있으며, 이 머신은 6배율, 레이저 NX90 정렬 빔과 근접 센서로 매우 정확한 패턴 정렬을 제공합니다. 자동화된 포토 리토 그래피 (photolithography) 절차는 도구의 CCD 카메라에 의해 가능하며, 이는 노출 중에 웨이퍼 위치를 추적합니다. 또한 기판이 움직이거나 변형되면 웨이퍼 (wafer) 의 패턴 위치를 조정할 수있는 자동 초점 에셋 (auto-focus asset) 이 포함됩니다. 이 장치에는 사진 해설에 유리한 결과를 제공하는 높은 정확도, 고해상도 이미징 모델도 장착되어 있습니다. 이것은 6 "웨이퍼 스테이지, 9 마스크 스테이지 및 8 um/sec의 이동 속도로 XYZ 고정밀 웨이퍼 스테이지를 사용하여 달성됩니다. 동일한 기판에서 각도가 다른 대규모 리소그래피 (lithography) 를 수행할 수 있습니다. 또한 PLA 501 은 고급 패턴화 장비 (PLA 501) 와 이미징 시스템 (Imaging System) 의 결합된 기능을 통해 신뢰할 수 있는 정렬과 전송 정확도를 제공하며, 이를 통해 사용자가 정확하고 효율적으로 패턴을 개발할 수 있습니다. 이 장치는 또한 개발 프로세스에 친숙한 환경을 제공합니다. 최소한의 노력이 필요한 유지보수 (maintenance) 는 서비스 데이터를 추적하는 능동적인 유지 관리 카운터 (active maintenance counter) 에 의해 보장됩니다. PLA-501은 웨이퍼 레벨 처리를위한 올인원 사진 분석기입니다. 유용한 응용 프로그램과 적합한 디자인은 마이크로 일렉트로닉스, MEMS, 반도체 (semiconductor) 또는 회로 처리 (circuit processing) 및 생명 공학 (biotechnology) 과 같은 광범위한 연구 및 산업 응용 분야에 이상적인 플랫폼입니다.