판매용 중고 CANON PLA 501 #293717420

캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 전자동 정밀 마스크 정렬 기이며, 고급 마이크로 전자 연구 및 고정밀 사진 분석 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 기판 및 마스크의 고해상도 정렬을 제공하며, 빠르고 반복 가능한 이미징을 제공 할 수 있습니다. CANON PLA-501의 공구 스테이지 크기는 4 인치 x 4 인치이며 공구 스테이지에서 최대 기판 높이는 6mm입니다. 254nm UV 레이저 소스와 고밀도 정렬을 지원하는 컴퓨터 제어 아연 도금 스캐닝 미러 (galvanometric scanning mirror) 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 XY (XY) 및 ZZ 단계 (ZZ Stage) 를 갖추고 있으며, 각 실험의 구성 요구 사항에 맞게 기판 및 마스크를 매우 정확하게 이동할 수 있습니다. PLA 501에는 정교한 노출 제어 장치 (Exposure Control Unit) 가 있어 펄스 너비 및 파장, 노출 시간, 노출 용량 비율 등의 노출 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 수동 재정의 (manual override) 모드를 통해 사용자가 사전 설정 값에 영향을 주지 않고 노출 매개변수를 수동으로 설정할 수 있습니다. PLA-501은 포괄적인 프로세스 제어 소프트웨어 패키지와 함께 설치됩니다. 소프트웨어 패키지를 사용하면 레시피 작성, 편집, 실행, 프로세스 상태 모니터링, 실험 데이터 수집 등을 수행할 수 있습니다. 또한 기계의 원격 제어를 허용하여 완전 자동 (Fully Automated) 노출 실행을 허용합니다. 유지 보수 측면에서 CANON PLA 501 은 구성 요소를 정기적으로 검사하고 사용자에게 필요한 유지 보수 (maintenance) 를 알려주는 지능형 자가 유지 관리 툴을 갖추고 있습니다. 또한, 모델의 렌즈, 마스크 스테이지 및 기판에서 오염을 제거하는 자동 청소 에셋이 장착되어 있습니다. 전반적으로 CANON PLA-501은 매우 정밀하고 높은 처리량 마스크 정렬 기이며, 고급 마이크로 전자 연구 및 사진 리토 그래피 응용 프로그램에 적합합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스, 고급 노출 제어 장비 (Exposure Control Equipment), 지능형 자가 유지 관리 (Self-Maintenance) 및 자동 클리닝 시스템 (Automated Cleaning System) 이 함께 제공되므로 빠른 속도와 매우 정확한 제작에 적합합니다.