판매용 중고 CANON PLA 501 #293696568

CANON PLA 501은 photolithography 프로세스에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 빔 소스, 정밀 X/Y 스테이지 및 통합 스테이지 컨트롤러가 내장 된 데스크탑 장치입니다. 이 장치는 고해상도 이미징을 생산할 수 있으며, 고해상도는 1.0m입니다. 빔 소스의 스팟 크기는 0.1mm (0.1mm) 이며 최대 120W (최대 120W) 의 전력으로 작동합니다. 이것은 공정 시간 및 노출 용량에 대한 정확한 제어를 갖는 마이크로 위치 형성에 최적입니다. X/Y 단계를 사용하면 처리하기 위해 기판 및 마스크를 정확하고 반복적으로 정렬할 수 있으며, 이를 통해 이미지를 정확하게 배치할 수 있습니다. 통합 스테이지 컨트롤러를 사용하면 두 축 이동을 정확하게 제어할 수 있습니다. 캐논 플라 -501 (CANON PLA-501) 에는 깨끗한 환경을 보장하고 샘플의 오염을 방지하기 위해 쿼츠 필터가 장착 된 드라이 에어 시스템 (Dry Air System) 도 포함되어 있습니다. 기판을 확보하기위한 통합 진공 척 (vacuum chuck) 이 있으며, 최대 100x100mm 크기의 기판을 지원할 수 있습니다. 샘플을 처리하기 위해 연산자는 먼저 X/Y 단계에서 샘플을 로드한 다음 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 이동으로 기판 또는 마스크를 정렬합니다. 그런 다음, 빔 스팟이 샘플을 가로 질러 움직이면서 노출됩니다. 포스트 프로세스 후, 생산 된 패턴을 나타내기 위해 샘플을 개발해야합니다. PLA 501은 반도체 제작에서 다양한 응용 분야에 중요한 장치이며, 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 장치의 정확한 패턴을 가능하게합니다. 탁월한 해상도, 정확한 샘플 정렬, 신뢰성 있고 정확한 처리를 위한 자동 작업 (Automated Operation) 기능을 제공합니다.