판매용 중고 CANON PLA 501 #293644254

캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 고해상도, 정확한 마스크 정렬이 필요한 사진 촬영 응용 프로그램을 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 이 시스템은 매우 정밀하게 포토 마스크 (photomask) 를 자동으로 정렬하여 감수성 있는 포토 마스크 (photomask) 패턴을 위한 높은 정밀도를 제공합니다. X-Y 축 정렬 테이블, 이중 광학 현미경, 3 개의 레티클 및 장거리 이미징 렌즈가있는 투영 장치로 구성됩니다. X-Y 축 로봇 정렬 테이블 (X-Y axis robotic alignment table) 은 각각 0.001mm의 해상도로 레티클과 기판을 운반하는 두 개의 스틱 단계를 구동합니다. 이를 통해 사용자는 기판 (substrate) 또는 레티클 (reticle) 위치에 변형을 유도하지 않고 여러 기판과 레티클을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한, 정렬 테이블에는 스테이지 동작 안정성 (stage motion stability) 이 있으며, 이를 통해 진동없이 고정밀도 사진 리토그래피 노출이 가능합니다. 이중 광학 현미경은 레티클과 기질의 정확하고 신뢰할 수있는 정렬에 최적화되었습니다. 확대/축소 범위가 최대 30배인 고배율 광학 헤드로 구성됩니다. 현미경은 이중 광섬유 광원 (optic light source), 조절 가능한 노출 제어 (imposure control) 를 갖추고 있으며 원격 제어를 위한 전용 USB 포트를 통해 개인용 컴퓨터에 쉽게 연결할 수 있습니다. 세 개의 레티클에는 각각 원하는 패턴이있는 포토 마스크가 포함되어 있습니다. 각 "마스크 '는 결국 인쇄 될 장치 의 모양 과 재료 를 정의 하도록 설계 되었다. 가장 일반적인 유형의 레티클은 이진 위상 시프트 마스크, 감쇠 위상 시프트 마스크, 교대 조리개 마스크 및 수차 프리 마스크입니다. 투영 장치 (Projection Unit) 에는 장거리 투영 렌즈가 장착되어 있으며, 이 렌즈는 마스크의 패턴을 기판에 노출시킵니다. 노출 제어 시스템 (노출 제어 범위 0.05-32 초) 을 갖추고 있으며 셔터 속도가 최대 1/1000 초입니다. 이를 통해 높은 해상도로 안정적이고 반복 가능한 패턴 전송이 가능합니다. 전반적으로, CANON PLA-501은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬 기이며, 정확도가 높은 포토 리토 그래피 응용 프로그램에 적합합니다. 높은 해상도와 정확도로, 최소한의 왜곡으로 기판으로 정확한 패턴 전송을 가능하게합니다.