판매용 중고 CANON PLA 501 #293643206

CANON PLA 501은 반도체 장치의 제조에 사용되는 장치입니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 로서, 대상 기판 위에 포토 마스크 패턴을 정확하게 배치하여 패턴의 일부를 집중 (Focused) 한 다음 광선에 노출 할 수있는 도구입니다. 이로써, 반도체 장치 를 생산 하는 "패턴 '을 정확 하게 정렬 할 수 있으며, 그 결과 더 높은 수율 과 더 나은 성능 을 얻게 된다. CANON PLA-501은 스테퍼로, 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 기술을 사용하여 포토 마스크 패턴을 정확하게 정렬하고 초점을 맞추는 것을 의미합니다. 최대 정렬 정확도는 1.5äm, 최대 방출 각도는 10 °, 최대 필드 크기는 10mmø입니다. 통신 광학 시스템 (Telecentric Optics System) 과 다각형 거울 스캐너 (Polygonal Mirror Scanner) 를 모두 장착하여 높은 정확도와 과잉 샘플링 기능을 제공하므로 확대에서도 이미지 선명도가 향상됩니다. 레이저 소스의 평균 출력은 450mW이며, 전압 범위는 10.5V ~ 12V이며, 근자외선 및 가시적 절대 노출에 적합합니다. PLA 501은 고도로 자동화된 시스템으로, 프로그래밍 가능한 디지털 프로세스 컨트롤러 (digital process controller) 와 심층 프로세스 분석을위한 모니터링 시스템이 있습니다. 사용자 인터페이스는 사용자 친화적이며 매우 직관적이며, 매개변수 변경, 프로세스 내 데이터 모니터링, 진단 실행, 사용자 계정 관리 등을 간편하게 제어할 수 있습니다. 소프트웨어 아키텍처는 프로세스 모듈 (process module), 운영 모듈 (operation module) 및 유지 보수 모듈 (maintenance module) 로 구성된 세 개의 기본 모듈로 나뉩니다. PLA-501은 많은 마스크 정렬기와 마찬가지로 클린 룸 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 필터와 배플 (baffle) 이 내장되어 있으며, 특별히 설계된 소음 및 진동 억제 시스템 (noise and vbration suppression system) 이 내장되어 있으므로 환경에 대한 중단을 최소화하면서 엄격한 청소실에서 사용할 수 있습니다. 이 장치 의 매끄럽고 안전 한 작동 을 보장 하기 위해, "캐논 '은 광소시스트', 청소제," 렌즈 '유지비 와 같은 광범위 한 소모품 을 제공 한다. 캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 반도체 업계에서 널리 사용되며, 뛰어난 정확도, 속도, 사용성 및 신뢰성으로 경쟁사와 분리되어 있습니다. 컴팩트한 크기와 첨단 기술로 가장 까다로운 제작 요구 사항을 충족할 수 있으며, 박막 트랜지스터 (Thin Film Transistor), 밀도 높은 메모리 기술, 옵토일렉트로닉스 (Optoelectronics) 등 다양한 애플리케이션에 사용될 수 있습니다.