판매용 중고 CANON PLA 501 #293615023

ID: 293615023
웨이퍼 크기: 3"-4"
Mask aligner, 3"-4" Spare parts Does not include automatic wafer handling system.
CANON PLA 501은 미세 전자 산업의 구성 요소 전면 다이 부착뿐만 아니라 양쪽에 사용되는 매우 정밀하고 완전 자동화 된 5 인치 Mask Aligner Equipment입니다. 마운트가 패키지, 회로 기판, 웨이퍼 등에 다이 (die) 될 때 미세 피치와 높은 정렬 정확도에 사용됩니다. CANON PLA-501 aligner 에는 수많은 자동 구성 요소 및 기능이 장착되어 있어 매우 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 기능과 구성 요소에는 매우 정확한 12.7mm (1/2 인치) 슬라이드 선형 스테이지, 유연한 스테퍼 모터, 레이저 헤드, CCW 기울기 LCD 모니터, X, Y 및 Z 축을 따라 최대 13 인치의 자동 스테이지 이동, 5 인치 마스크 홀더, 진공 펌프 및 광학 시스템. PLA 501 마스크 정렬기는 또한 자동 초점 (Autofocus) 뿐만 아니라 초저확대 이미징 (Ultra-Low Magnization Imaging) 을 지원하므로 초고품질 피치 요구 사항에 적합합니다. 마운트 테이블 (mount table) 의 이미지 조정은 이미지 획득 중 매우 민감한 스테퍼 모터 (stepper motor) 이동을 사용하여 가능하며, 패키지 또는 보드의 대상 위치에 대한 다이를 정확하고 정확하게 정렬할 수 있습니다. Windows 기반 PC에 설치된 전용 소프트웨어에 의해 제어되는 마스크 정렬기 (mask aligner) 의 완전 자동화 (fully automated) 단계는 유연성과 전반적인 유닛 성능을 제공합니다. 이 시스템의 자동화 기능을 통해 실시간 이미지 모니터링/처리와 스캐닝 (Scanning) 알고리즘을 통해 더욱 빠른 정렬 및 포지셔닝을 수행할 수 있습니다. 마지막으로, PLA-501 Mask Aligner에는 광학 공구의 X, Y 및 Z 축뿐만 아니라 플래튼 전체에 균일 한 온도를 유지하기 위해 고품질 적외선 가열기가 장착되어 있습니다. 따라서 구성 요소의 열 손상을 방지하면서 일관된 Die Attach 품질을 보장할 수 있습니다. 또한 내장 된 압력 모니터 (pressure monitor) 자산이 있으며, 다이 부착 프로세스 중 압력을 감지하고 측정하여 과압 (over pressure) 으로 인한 구성 요소의 손상을 최소화 할 수 있습니다.
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