판매용 중고 CANON PLA 501 #293592025

CANON PLA 501은 리소그래피 및 반도체 장치 제조에 사용되는 풀 필드 마스크 정렬 자입니다. 광선 (beam of light) 을 사용하여 정확한 전달 정렬을 달성하여 반도체 기판에서 피쳐를 정확하게 패턴화 할 수있는 고정밀 비 접촉 (high-precision non-contact) 정렬기입니다. CANON PLA-501은 고해상도 스캐닝 장비와 높은 NA 렌즈 (High-NA Lens) 를 갖추고 있으며, 넓은 동적 범위로 집중적으로 패턴화할 수 있습니다. 사용 된 1050nm 파장 레이저 (wavelength laser) 는 명암이 높고 초점이 깊으며, 정확도가 높은 다양한 다양한 다양한 기능을 효과적으로 전달할 수 있습니다. 이 기계의 높은 정확도, 고해상도 프로세스는 정렬 된 마이크로 리토그래피 패턴을 정확하게 전송할 수 있으며, 0.1um 달성 가능한 피쳐 크기입니다. 투영장 은 상당 히 크기 가 크므로, 다양 한 "다이 '크기 를 처리 할 수 있다. 포토 esist 코트 시스템은 필름 두께 정밀도가 2% 이내인 균일 한 코팅 기능을 갖추고 있습니다. PLA 501에는 CAD/CAM 제어 기능이 장착되어 있으며, 설정 시간 단축, 수동 작업 오류 감소 등의 새로운 패턴 설정 GUI가 제공됩니다. 또한 자동 정렬, 기울기, 회전 기능을 갖춘 매트릭스 레이아웃 (matrix layout) 기능이 포함되어 있으며, 웨이퍼 평탄도를 빠르고 정확하게 검사할 수 있는 특수 웨이퍼 매핑 (special wafer mapping) 기능을 사용할 수 있습니다. PLA-501은 열 효과 및 이동 왜곡을 제거하여 최고의 정확성과 반복 성을 제공하는 고급 증발 냉각 장치 (Advanced Evaporative Cooling Unit) 를 사용합니다. 기계는 작동 중 음향 소음을 제거하는 낮은 주파수로 실행됩니다. 14 세그먼트 조사 발전기는 균일 한 조사 작업을 생성하며 유지 관리가 가능한 빠른 처리를 허용합니다. 또한, 마스크 정렬기에는 높은 감도와 낮은 어두운 전류 측정을 제공하는 고급 CMOS 검출기 (Advanced CMOS Detector) 가 장착되어 있어 항상 고급 정렬 정확성을 보장합니다. 캐논 플라 501 (CANON PLA 501) 은 강력한 연동 머신과 고속 검사 기능 (high-speed inspection function) 에 따라 유지 보수 간격이 긴 사용자 친화적 인 기계입니다. 자동화된 프로세스와 사용이 간편한 기능으로 인해 CANON PLA-501은 고정밀 마스크 정렬기 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.