판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9396180
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CANON PLA 501 FA는 상단 반자동 고해상도 마스크 정렬기로, 막에 쓰여진 패턴을 웨이퍼 표면에 정확하게, 정확하게 전달하도록 설계되었습니다. 이 장치는 매우 강력한 10 mW He-Cd 레이저를 자랑하여 웨이퍼에서 일관되게 고품질, 고해상도 이미지를 생성할 수 있습니다. 마스크가 정밀하게 정렬되고 인쇄되도록 501 FA는 3 개의 고정밀도 마이크로미터, 경사 단계 및 X-Y 단계로 구성된 미세 정렬 시스템을 구현합니다. 501 FA 는 패턴 해상도가 우수할 뿐만 아니라 자동 (automated) 기능으로 인해 사용하기 쉽습니다. 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 클램핑, 저항 노출과 같은 기능은 모두 501 FA 에 의해 자동으로 수행됩니다. 또한, 더 정확한 정렬 및 노출을 보장하기 위해 노출 매개 변수를 제어 및 조정할 수 있습니다. 최적의 광 중합체 노출을 위해 501 FA는 별도로 또는 함께 사용할 수있는 4 사분면 및 8 사분면 노출 단계를 사용합니다. 이렇게 하면 더 뛰어난 패턴 (pattern) 과 오버레이 (overlay) 정확도를 제공하면서 최소한의 노출 시간으로 정확하게 정렬된 패턴을 노출시킬 수 있습니다. 안정성과 내구성 측면에서 볼 때, 501 FA는 견고한 컴팩트 바디 (compact body) 와 모듈식 디자인의 메인프레임 바디 (mainframe body) 를 가지고 있어 진동 및 온도 변화에 강합니다. 또한, 내장 냉각 시스템은 일관된 온도를 유지하므로, 장기간에 걸쳐 더 일관되고 안정적인 성능을 제공합니다. 생산성 향상과 처리량 향상을 위해 501 FA 는 자동 시작, 자동 웨이퍼 이동, 다중 매개 변수 스토리지, 레이어 매핑, 실시간 패턴 정렬 등 여러 가지 향상된 기능을 제공합니다. 간단히 말해서, 501 FA는 최첨단, 자동 기능, 고해상도 레이저 광학, 견고한 디자인으로 최신 마스크 정렬기를 표현합니다.
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