판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9395478

CANON PLA 501 FA는 생산 용도로 설계된 고성능 마스크 Aligner입니다. 고급 프로세스 기능을 제공하며, 처리량, 정확도, 작동 편의성을 제공합니다. CANON PLA-501FA는 새로 설계된 Laser Optical Equipment, Low Repetition Rate Laser Source 및 웨이퍼 정렬 및 로드를 위한 자동화된 프로세스를 갖추고 있습니다. PLA 501FA의 레이저 광학 시스템 (Laser Optical System) 은 기판 및 마스크를 가장 정확하게 정렬합니다. [반복 속도 낮은 레이저 소스] 는 빠르고 정확한 노출을 생성하여 정렬 과정에서 기판 및 마스크에 대한 열 손상을 최소화합니다. 자동화된 프로세스는 기판 및 마스크 정렬을 단순화하여 처리량이 높습니다. 통합 웨이퍼 컨트롤러 (wafer controller) 는 자동 웨이퍼 로딩의 최대 유연성과 함께, 생산성 향상 및 정렬 프로세스의 균일성 향상을 허용합니다. 캐논 플라 -501 FA (CANON PLA-501 FA) 는 25nm 피치까지 노출 할 수 있으며, 오버레이와 포커스에 대한 최첨단보다 더 나은 허용치를 제공합니다. 이 장치는 5 배 감소 기능을 위해 1440 nm 노출 가능한 Exposure Head를 사용합니다. Optics and Electronics Specifications는 25 ~ 80,000nm 펄스 속도를 지원하도록 설계되었습니다. 수동/자동 정렬은 모두 CANON PLA 501FA 를 사용하여 수행할 수 있으며, 이는 운영 요구 사항에 유연하고 신뢰할 수 있는 기계입니다. PLA-501FA는 또한 다양한 안전 및 품질 보증 기능을 제공합니다. UltraViolet 무유 정렬 도구를 사용하여 구성할 수 있습니다. 고급 안전 설계 (Advanced Safety Design) 는 모든 컴포넌트가 최대한의 안전을 위해 분리되도록 보장합니다. 고급 냉각 에셋 (Advanced Cooling Asset) 은 최적의 성능을 위해 모델이 안정된 온도로 작동하도록 설계되었습니다. PLA 501 FA는 최소한의 유지 보수를 통해 최대의 품질과 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 (advanced) 기능을 통해 프로덕션 환경에서 웨이퍼 및 마스크 정렬을 위한 탁월한 선택이 가능합니다. PLA-501 FA 는 뛰어난 프로세스 기능, 고밀도 노출, 내장형 안전 기능을 통해 운영 요구 사항을 충족하는 경제적인 솔루션을 제공합니다.