판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9384106

CANON PLA 501 FA는 1 단계 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 자동 레이저 노출 장비입니다. 마이크로 일렉트로닉스 장치, 나노 기술, 광학 및 광전자의 고급 연구 또는 개발에 이상적인 도구입니다. 시스템은 프로젝터와 스테이지의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 프로젝터 모듈은 532 nm 파장의 솔리드 스테이트 레이저 (solid-state laser) 에 의해 구동되는 고정밀 옵틱 유닛으로, 스테퍼 모터로 제어됩니다. 프로젝터는 초점, 노출, 스캔이 원활하게 이루어지는 고해상도 스캐닝 빔과 함께 작동합니다. 이를 통해 정확한 석판 촬영이 가능하며 정확도는 1äm 이상입니다. 광학 모듈은 또한 고해상도 광학 현미경을 사용하여 정밀한 프로세스 제어 및 피드백 (feedback) 을 위해 라이브 현미경 이미지에 리소그래피 프로세스를 제공합니다. 스테이지 모듈에는 기판, 마스크 (Mask), 자동 정렬 장치 (Automatic Alignment Machine) 와 다른 리소그래피 프로세스를 사용하도록 구성할 수 있는 다른 여러 컴포넌트가 있습니다. 스테이지는 정확한 정렬을 위해 APRS (Absolute Position Registry Asset) 와 결합된 정확한 동작 단계를 갖춘 닫힌 루프, 동작 제어 도구로 구성됩니다. 이러한 요소를 통해 최대 6-정밀도로 포지셔닝할 수 있습니다.