판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9328888

ID: 9328888
웨이퍼 크기: 5"
Mask aligner, 5" Gases: N2: Maximum pressure: 3.5 kg/cm² Maximum flow: 10 LPM Pipe: SUS316 Connector: SWAG Caliber: 1/4" CDA Vacuum Mercury lamp: 250 W Wafer exposure, 5" Washing water containing organic solvent: Pipe: PP Connector: SWAG Caliber: 2" Ground: 1 ohm Manual included Power supply: 220 V, Single phase, 3-wires, 1.6 A Lamp power supply: 110 V, Single phase, 3-wires, 5.5 A.
CANON PLA 501 FA는 CANON Anelva Corporation에서 제조 한 마스크 정렬 자입니다. 다양한 반도체 장치 제작 프로세스에 사용하도록 설계되었으며, 기판에 포토 마스크 (photomask) 를 정확하게 정렬 할 수있는 고정밀도, 다이 구조의 설계가 특징입니다. 마스크 정렬기는 0.3õm 반복 성과 1äm 정확도로 정확한 정렬을 제공 할 수 있습니다. 이 장비는 쿼츠 (quartz), 실리콘 (silicon), 심지어 GaA를 포함한 다양한 기판을 지원하며 다양한 포토 마스크와 호환되도록 설계되었습니다. 이 시스템은 강력한 고해상도 광학 장치 (optical unit) 를 통해 10 ~ 5 레벨 이상의 광도 제어, 빠른 노출 시간, 단순한 노출 조건 조정을 지원합니다. 광도 제어, 정렬 정확도 및 CANON PLA-501FA가 제공하는 빠른 노출 시간을 조합하면 포토리스 (photoresist) 노출, 건식 에칭, 납납 및 포장을 포함한 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 손쉽게 작동하고 조정할 수 있는 크고 직관적인 터치 패널 컨트롤 패널을 갖추고 있습니다. 또한 내장형 안전 경보 장치 (Safety Alert Machine) 를 제공하여 도구에 문제가 있는 경우 사용자에게 경고를 보냅니다. 또한, 에셋은 진동 및 열 왜곡을 감소시켜 정렬 정확도를 높여주는 소프트 스타트 (soft-start) 기술을 갖추고 있습니다. 이 모델의 고급 기능은 고해상도 CCD 이미지 센서, 고급 레이저 이미징 장비, 고해상도 XYZ 축 (High Accuracy XYZ Axes), 정렬 정확도, 노출 시간 등 다양한 하드웨어/소프트웨어 구성 요소에 의해 활성화됩니다. 등. 전반적으로, PLA 501FA 마스크 정렬기는 강력하고 정밀한 시스템으로, 광범위한 기판으로 탁월한 정렬 정확도를 제공합니다. 다양한 반도체 장치 제작 프로세스에 적합하며, 광도 제어, 빠른 노출 시간, 소프트 스타트 (soft-start) 기술, 직관적인 터치 패널 제어판 등 고급 기능을 제공합니다.
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