판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9289791

캐논 플라 501 FA (CANON PLA 501 FA) 는 고급 반도체 장치를 만드는 리소그래피 장비의 일부로 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 칩 및 기타 마이크로 스케일 전자 부품을 만드는 프로덕션 환경에서 일반적으로 발견됩니다. "마스크 '" 타이너' 는 매우 작은 비늘 로 "실리콘 '," 알루미늄' 및 기타 재료 로 만든 "웨이퍼 '로 무늬 를 조각 할 수 있다. "마스크 '를 통하여 초점 을 맞추는" 레이저' - 장치 에 필요 한 요소 들 의 본 이 들어 있는 "마스크 '- 를 사용 하여 낙서 를 한다. 그런 다음, 마스크 정렬기를 사용하여 마스크의 원하는 요소를 스크리빙된 웨이퍼에 맞춥니다. 시스템은 스캐너, 스테퍼, 분석기, 투영 장치 등 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스캐너 (scanner) 는 마스크 정렬기의 광학 컴포넌트를 교정하여 기계가 올바르게 정렬되었는지 확인합니다. "스테퍼 '는" 마스크' 를 스크리빙된 "웨이퍼 '위 에 한 위치 에서 다른 위치 로 옮길 책임 이 있다. 분석기 는 "레이저 '의 강도 를 측정 하고" 패턴' 의 변화 를 탐지 하여 필요 하다면 수정 을 한다. 마지막으로, 투영 도구는 마스크를 웨이퍼 (wafer) 에 투영하여 올바른 요소가 전송되도록 합니다. 자산은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 0.004 미크론의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 그것 은 또한 깨끗 한 환경 을 필요 로 하는 "클리어룸 '에 사용 하여" 요소' 들 을 올바로 서기 하고 전달 하도록 설계 되었다. 또한, 이 모델은 최대 12 개의 마스크를 동시에 정렬 할 수 있습니다. 즉, 대용량, 복잡한 장치를 빠르게 생산할 수 있습니다. 전체적으로 CANON PLA-501FA (CANON PLA-501FA) 는 매우 정확하고, 다재다능하며, 효율적인 마스크 정렬기로, 다양한 재료에서 다양한 복잡한 장치를 생산할 수 있습니다. 운영 환경에서 유용한 툴로서, 소형화 (miniaturization) 및 디바이스 복잡성 증가를 가능하게 합니다.