판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9276651

CANON PLA 501 FA는 반도체 장치 제조에 사용되는 최고 마스크 정렬 자입니다. 마스크 정렬기는 패턴 투영을 위해 레이저 광선 (laser light beam) 과 패턴 전송을 위해 스테퍼 모터 (stepper motor) 를 갖춘 광학 시스템을 사용합니다. 이를 통해 리소그래피 중에 패턴을 기질화하는 마스크 패턴을 정밀하게 정렬 할 수 있습니다. 정확한 패턴 전송은 장치 생산에 필수적입니다. CANON PLA-501FA는 뛰어난 처리 속도와 뛰어난 패턴 등록을 제공합니다. 광학 시스템은 355 nm의 파장을 특징으로하며, 스테퍼 모터는 0.6 nm의 이동 증가가 가능합니다. 마스크 정렬기의 최대 프레임 크기는 450mm x 450mm입니다. 정확성 측면에서, 마스크 정렬 자는 등록 및 라인 너비 해상도 0.2 ° m를 제공합니다. PLA 501FA는 또한 입자 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 입자 제거 필터 모듈과 방전 셔터가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, "마스크 '" 알리그너' 내 에 있는 제한 된 지역 에서 공기 입자 를 제거 할 수 있다. 또한 마스크 정렬기는 고속 스캔을 제공합니다. 스캔 시간은 전체 크기 250 mm x 250 mm 프레임의 경우 0.1 초입니다. PLA-501 FA의 전체 설계는 컴팩트하고 사용자 친화적 인 장비의 설계입니다. 인체공학적 제어판, 마이크로프로세서 인터페이스 (microprocessor interface), 간편한 설치 기능을 제공하여 빠르고 부드럽게 작업할 수 있습니다. 또한, 마스크 정렬기 (mask aligner) 에는 데이터 로거 (data logger) 도 포함되어 있어 광학 시스템 데이터를 기록하여 장기적으로 추적할 수 있습니다. 전체적으로 PLA 501 FA는 신뢰성이 높고 효율적인 마스크 정렬기입니다. 그것 의 정확성, 속도, 오염 조절 은 많은 반도체 회사 들 에게 이상적 인 선택 이 된다. 최단 시간 안에 최고 품질의 컴포넌트 (component) 를 생산해야 하는 사람에게는 매우 적합한 선택입니다.