판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9270090

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ID: 9270090
웨이퍼 크기: 4"
Mask aligner, 4" Automatic wafer handling Round chuck.
CANON PLA 501 FA는 정밀 사진 촬영 및 웨이퍼 레벨 포장을위한 자동 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 컴퓨터 제어를 통해 중앙 제어 장치 (Central Control Unit) 에서 매개변수를 설정, 모니터링, 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 UV 노출 및 웨이퍼 레벨 패키징을위한 고급 기능이 포함되어 있습니다. CANON PLA-501FA는 기판에 대한 photomask를 매우 정밀하게 정렬 할 수 있도록 설계된 5 축 정렬 도구입니다. 이 장치에는 중심 포크 교정 (center poke correction) 이있는 x-y 회전 단계와 기판 높이를 제어하는 z축 단계가 포함됩니다. 또한, 고양이 의 눈 "카메라 '는" 마스크' 에 대한 기판 의 정렬 을 탐지 하는 데 사용 된다. PLA 501FA는 포토 마스크 및 기판의 정렬을 위해 높은 정확성과 반복 성을 제공 할 수 있습니다. CANON PLA-501 FA는 두 가지 노출 모드, 즉 뒤집기 및 이중 노출 모드를 자랑합니다. 광원의 플립 가능 편광 상태 (flip-able polarization state) 를 사용하여 기질의 전면과 후면을 동시에 노출 할 수 있습니다. 이렇게 하면, 광원에서 발생하는 왜곡을 최소화하면서 처리량을 최적화할 수 있습니다. 또한 PLA-501 FA는 웨이퍼 레벨 패키징 애플리케이션을 위해 고급 기능을 제공합니다. 기계의 저온 결합 옵션은 섬세한 칩을 결합하는 데 이상적입니다. 이 도구는 또한 고급 캡슐화 기술을 사용하여 수분과 먼지로부터 어셈블리를 보호합니다. 또한 PLA 501 FA에는 PID (위치 표시 검출기) 가 있는 마커 검출이 포함되어 있어 어셈블리의 정확성을 보장합니다. 전반적으로, PLA-501FA는 정밀 사진 촬영 및 웨이퍼 레벨 패키징에서 탁월한 성능을 제공하는 고급 마스크 정렬기입니다. 이 자산은 다양한 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능을 통해 안정적으로 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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