판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9269096

CANON PLA 501 FA는 마스크 패턴화 및 리소그래피를 용이하게하도록 특별히 설계된 컴팩트하고 완전 자동화 된 마스크 정렬자입니다. 이 마스크 정렬기는 5 미크론 정확도와 완전 자동 정렬 절차를 갖춘 통합 레이저 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 마스크 정렬기는 이중 스프링 스테핑 모터 스테이지 메커니즘을 사용하여 소량 기판과 최대 6 인치 크기의 더 큰 기판을 정확하게 패턴화합니다. 또한 501 FA는 추가 리프트 오프 (lift-off) 프로세스가 필요 없이 단일 또는 여러 계층의 전도성 및 절연 재료를 패턴화할 수 있습니다. CANON PLA-501FA는 온도가 낮은 프로세싱을위한 초고속 진공 시스템 (E-beam 소스 및 여러 프로그래밍 가능한 노출 렌즈) 을 갖추고 있습니다. 이중 교육 단위에는 단계 이동 정렬 (phase shift alignment) 및 창 정렬 (window alignment) 이 포함되어 있어 1 미크론 미만의 피쳐를 정렬할 때 최대 정확도를 보장합니다. SAM (small area mapping) 머신을 추가로 사용하면 PLA 501FA가 정밀 장치의 패턴 밀도를 높일 수 있습니다. 또한, 마스크 정렬기는 공구의 상태를 자동으로 모니터링하기 위해 2 차원 힘 센서와 크롬 (chrome) 과 크롬 (chrome) 을 포함한 다양한 고해상도 레티클 (reticle) 을 제공합니다. PLA-501 FA는 완전히 자동화되어 집적 회로 및 보다 정확한 리소그래피가 필요한 다른 패턴에 적합합니다. 모든 마스크 정렬기 (mask aligner) 기능은 자동화되어 수작업 (manual operation) 과 긴 설정 (long setup) 시간이 필요하지 않습니다. 또한, 동력 스테이지에는 생산성 및 정확성 향상을 위해 90도 회전하는 기능이 있습니다. 다른 기능으로는 직관적인 휴먼 머신 인터페이스 (human-machine interface), 광범위한 이미징 광학, 고성능 에치 솔루션 (etch solution) 의 다양한 패턴화 솔루션 등이 있습니다. CANON PLA-501 FA는 Cu 및 Al 레이어를 포함한 다양한 재료의 정확한 정렬 및 패턴을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 도구는 또한 서브 미크론 리소그래피 (submicron lithography) 를 사용할 수 있으므로 다양한 마스킹 및 리소그래피 응용 프로그램에 이상적입니다. 또한 다중 처리량 (multiple throughput) 및 자동 처리 기술이 내장되어 있어 예산 친화적 마스킹 솔루션에 이상적인 솔루션입니다. 또한 사용자 친화적 인 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 프로그래밍과 운영이 용이하므로 모든 수준의 엔지니어가 사용할 수 있습니다. 간단히 말해, CANON PLA 501FA는 고급, 신뢰성, 사용하기 쉬운 마스크 정렬기로, 소규모 및 대규모 리소그래피 및 패턴 응용 프로그램 모두에 높은 정확성과 유연성을 제공합니다.