판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9239727

ID: 9239727
Mask aligner.
CANON PLA 501 FA는 웨이퍼 결합 및 리소그래피 시장을위한 완전 자동화, 고정밀도 및 비용 효율적인 마스크 정렬기입니다. 마스크 정렬기는 강력한 고속 패턴화를 특징으로하며 ± 0.2dot Mid Pitch의 최대 정렬 정확도를 제공합니다. 모든 주요 마스크 제조업체의 풀 사이즈 마스크와 호환되는 8 "~ 12" 마스크 어댑터가 장착되어 있습니다. 이 기계는 3 가지 노출 방법 (가시, 정상 또는 고급) 모두에 대해 0.4m보다 나은 정렬을 달성하는 데 도움이됩니다. 이 기계의 자동 장비 (Automated Equipment) 는 리토그래픽 저항과 마스크 기판을 정렬하기 위한 완벽한 제어 (Control) 를 제공하며, 이를 통해 사용자가 매우 균일한 정렬로 반복 가능한 패턴을 달성 할 수 있습니다. 자동화된 공정으로 미세 패턴 (fine pattern) 을 균일 한 피치로 정렬할 수 있으며, 레지스트 패턴 (resist pattern) 을 정렬하여 다양한 두께로 패턴을 기판할 수 있습니다. 이렇게 하면 정렬이 안정적이고 일관성을 유지하면서 정밀도가 가장 높아집니다. 이 기계의 고출력 광학 시스템 (Optical System) 은 마스크 평면에 균일한 조명으로 패턴을 정확하게 투사합니다. 따라서 패턴 해상도가 최고 품질이 됩니다. CANON PLA-501FA 마스크 정렬자 (CAN PLA-501FA mask aligner) 는 또한 측면 이동 옵션을 특징으로하며, 이는 예기치 않은 문제가 발생할 경우 패턴 투영을 조정할 수 있습니다. PLA 501FA 마스크 정렬기 (PLA 501FA mask aligner) 는 습식 에칭 프로세스에 사용하도록 최적화되었으며, 교차 오염을 방지하기 위해 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 연산자는 콘솔에서 원격으로 시스템 설정을 제어할 수 있으며, 수동 (manual intervention) 이 필요 없이 연산자가 시스템의 작동을 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, 이 기계는 고급 유지 관리 (advanced maintenance) 기능을 제공하여 다운타임을 최소화하고 기계가 항상 최대 (peak) 상태인지 확인합니다. 모든 유지 보수 작업 (Maintenance Activity) 은 기록되어 있으며, 잠재적인 문제를 파악하기 위해 참조할 수 있으며, 이를 통해 즉시 수정할 수 있습니다. 전반적으로 PLA-501 FA 마스크 정렬기는 신뢰할 수 있고, 정밀하며, 비용 효율적인 리소그래피 솔루션을 찾는 석판화가에게 적합한 선택입니다. 자동 장치 (Automated Unit), 강력한 광학 머신 (Optical Machine) 및 고급 유지 관리 기능은이 머신이 경쟁에서 두드러지게하며 모든 석판 제작자에게 현명한 선택입니다.
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