판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9226338

캐논 플라 501 FA (CANON PLA 501 FA) 는 반도체 업계에서 사용하도록 설계된 고급 마스크 정렬기입니다. 광학 마스크를 정확하게 배치하고, 패턴을 기판에 전달하는 데 photolithography 기법에 사용됩니다. 정렬자는 뛰어난 정확도를 제공하며, 정렬 정확도 50nm로 높은 수준의 반복성을 제공합니다. CANON PLA-501FA는 양안 현미경, 이미지 픽업 장치, 장착 단계, 빔 스플리터, 광학 릴레이 장비 및 통신 렌즈로 구성된 10 배 ~ 30 배의 확대를 가진 고급 투영 현미경을 사용합니다. 현미경은 독특한 HAD Catadioptric 광학 시스템을 통합하여 뛰어난 명암과 해상도를 제공합니다. 현미경에는 자동 중심 기능 (auto centering function) 과 자동 초점 (autofocus) 이 제공되어 가장 높은 정확도를 보장합니다. PLA 501FA는 유리, 실리콘, 저 k 유전체 및 세라믹 기판과 같은 다양한 기판 재료를 처리 할 수 있으며, 테스트 구조에 대한 정렬을 제공합니다. "얼라이너 '는 또한 공중 영상 장치 를 갖추고 있는데, 이 장치 는" 웨이퍼' 의 정렬 표시 를 탐지 하는 데 사용 된다. 이 기계는 디지털 카메라, 스테퍼 모터, Z 드라이브 및 턴테이블 액추에이터로 구성됩니다. PLA-501 FA에는 전체 정렬 프로세스를 제어하기 위한 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 가 있는 도구 컨트롤러가 있습니다. 여러 가지 온보드 프로그램 (온보드 프로그램) 이 제공되며, 이 프로그램은 정렬 프로세스를 최적화하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 이 컨트롤러에는 광학 모서리 감지 기능, 비대칭 정렬 기능, 고유한 모서리 감지 프로그램 등 다양한 정렬 도구 세트가 있습니다. 캐논 PLA 501FA (CANON PLA 501FA) 조정기는 높은 처리 속도와 뛰어난 정렬 반복성을 제공하기 때문에 대용량 생산 환경에서 사용하기에 적합합니다. 이 자산은 매우 효율적이며, 일반적인 처리 속도 (시간당 최대 250 웨이퍼) 로 5 초 미만의 인상적인 주기 시간을 제공합니다. 전체적으로, PLA-501FA (PLA-501FA) 는 뛰어난 정확도를 제공할 수 있고 대용량 생산 환경에서 사용하기에 적합한 놀라운 고급 마스크 정렬기입니다.