판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9226309

CANON PLA 501 FA는 최대 필드 1000mm x 1000mm의 고정밀, 완전 자동화 마스크 정렬기입니다. 고급 웨이퍼 (wafer) 프로세싱에 적합하므로 전자 업계에서 IC (integrated circuit) 제조에 적합한 선택입니다. CANON PLA-501FA에는 CANON 고급 리소그래피 기술이 적용되어 있어 오버레이 정확도와 결과가 우수합니다. 캔틸레버 (Cantilever) 디자인은 우수한 균일성을 보장하며 리소그래피 포토 리토 그래피 (lithography) 프로세스가 전체 칩 생산 라인에서 일관되게 신뢰성을 보장합니다. PLA 501FA는 또한 탁월한 열 교정 및 완화, 제품 수명 향상 및 최고 성능을 제공합니다. 강력한 모터 드라이브 시스템은 정확한 간트리 이동과 정확한 마스크 배치를 보장합니다. 듀얼 Quick-Release Fixture를 사용하면 Photomask 사이를 쉽게 전환하여 빠르고 효율적인 석판 처리를 수행할 수 있습니다. 또한 CANON PLA-501 FA에는 두 개의 최첨단 클리닝 시스템이 있습니다. 새로운 습식 스프레이 클리닝 메커니즘은 저항성 및 유기 물질의 잔기를 제거하는 반면, 액체 샘플링 시스템은 휘발성 오염 물질을 추출합니다. 또한, 마스크 알리그너 (Mask Aligner) 에는 온도 및 압력을 모니터링하는 센서가 장착되어 입자 제어 및 향상된 수율 수준을 제공합니다. PLA-501FA는 또한 포괄적인 고급 안전 기능을 제공합니다. 연동 장치 (Array of Interlock) 는 사용자가 유해 화학 물질에 노출되지 않도록 보호하기 위해 설계되었으며, 위험 요소가 감지되면 자동 차단 기능이 내장되어 있습니다. 명확한 안전 렌즈는 눈 부상의 위험을 줄입니다. PLA-501 FA는 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 고급 석판화 기술, 종합적인 안전 기능, 정밀 모터 드라이브 시스템 (motor drive system) 은 효율적인 웨이퍼 처리 및 우수한 수율을 보장합니다.