판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9226071

CANON PLA 501 FA는 전자 장치를 처리 및 정렬하도록 설계된 컴퓨터 제어 마스크 정렬 장치입니다. 고밀도 논리 집적 회로 (High-density Logic Integrated Circuit), 혼합 회로 기판 (Mixed-Circuit Substrate) 등 첨단 업계의 요구 사항을 충족하도록 설계된 장치입니다. CANON PLA-501FA는 필요한 정밀한 정렬 정확도와 최대 처리량, 그리고 각기 다른 기판을 지원할 수 있습니다. PLA 501FA는 2.7 미크론 반복 가능성의 6 인치 정렬 플랫폼을 사용합니다. 기판 정렬에 필요한 정밀도를 제공하기 위해 이중 파라 메트릭 포커스 장비와 고정밀 V 그루브 동력 단계가 있습니다. 또한 정렬 가능한 초점 광학 시스템 (Adjustable-focus optical system) 을 갖추고 있어 기판의 상단 및 하단에서 포커스를 조정하여 정렬 정확도를 향상시킵니다. 또한 "얼라이너 '에는 기판 을 쉽게 적재 하고 언로드 할 수 있는 자동" 웨이퍼 로더' 가 장착 되어 있다. PLA-501FA는 또한 다양한 응용 프로그램에 대한 광범위한 운영 모드를 제공합니다. 여기에는 Red-Green (RG) 기능, 복잡한 웨이퍼 패턴을 가진 기판의 GA (Global Align) 기능, 로컬 패턴을 가진 기판의 LA (local align) 기능 및 다중 정렬 기능이 포함됩니다. 또한 고급 패턴 인식 (Advanced pattern recognition) 모드를 사용하면 여러 패턴을 한 단계로 로드할 수 있습니다. PLA-501 FA 제어는 CANON EPSOFT 소프트웨어를 통해 이루어집니다. 이 소프트웨어는 자동 기판, 패턴, 프로세스 선택 기능을 제공하며, 수동으로 데이터를 입력할 수도 있습니다. 본 소프트웨어에서는 기판, 프로세스, 추적 이름 (trace name) 에 대한 세부사항, 기판 등록 및 정렬과 관련된 통계 업데이트 등을 비롯한 각 프로세스에 대한 현장 (on-the-fly) 설명서가 제공됩니다. 요약하면, PLA 501 FA는 고도의 정밀 정렬 및 전자 장치 처리를 위해 설계된 컴퓨터 제어 마스크 정렬기입니다. 6 인치 정렬 플랫폼, 2.7 미크론 반복 가능성 정확도, 이중 파라 메트릭 초점 장치, 조정 가능한 초점 광학 기계, 고급 패턴 인식 모드 및 CANON EPSOFT 소프트웨어가 특징입니다. 고밀도 논리 집적 회로의 고급 제조, 혼합 회로 기판 (mixed-circuit substrate) 에 이상적입니다.