판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9142669

CANON PLA 501 FA
ID: 9142669
웨이퍼 크기: 2"
빈티지: 1988
Mask aligner, 2" Process: Photolitho 1988 vintage.
CANON PLA 501 FA는 반도체 포장 및 하이브리드 산업을 위해 특별히 만들어진 완전 자동화 된 마스크 정렬 자입니다. 이 장치는 4 미크론 위치 정밀도를 갖춘 고속 패턴 처리 솔루션을 제공하여 photomask 정렬 작업을 신속하게 완료합니다. 캐논 플라 -501FA (CANON PLA-501FA) 는 시리즈 5000 마스크 정렬 장치 라인의 일부이며 정밀 포토 플로팅 및 기타 주요 생산 프로세스를위한 최고의 사진 분석 시스템 역할을합니다. UV 레이저를 사용하는 쿼츠 (quartz) 또는 패널 마스터 (panel master) 에 직접 이미징을 적용하여 필름 처리를 위한 단계 없이 실시간 마스크 노출이 가능합니다. PLA 501FA에는 사용 편의성과 정확성을 향상시키는 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 샘플 보드의 정렬 표시와 패턴 사이의 정밀한 정렬을 위해 나노 미터 레벨 마이크로 포지셔닝 시스템 (nanometer level micropositioning system) 으로 제작되었습니다. 또한, 완전하게 자동화된 웨이퍼 로드 레티클 교환 메커니즘이 있으므로 프로세스 시간과 인적 오류 가능성이 줄어듭니다. 이 장치에는 또한 개선 된 석판 처리 및 더 정확한 노출 제어를 위해 전체 작동 표면을 모니터링하는 고급 확산 반사 커버리지 센서 (Advanced Diffuse Reflection Coverage Sensor) 가 있습니다. 또한 PLA 501 FA를 PC에 연결하여 장치를 연결하고 제어할 수 있으며, 사진 촬영 작업을 손쉽게 아카이빙할 수 있습니다. PLA-501 FA 와 PC 를 함께 사용하면 마스크 노출을 실시간으로 모니터링할 수 있으므로 운영 효율성이 향상됩니다. 또한 이 장치는 사용 준비 상태이며, 추가 사용자 준비 시간 또는 특수 설정이 필요하지 않습니다. 또한 PLA-501FA 는 에너지 효율이 높고 내구성이 뛰어난 구성 요소로 인해 견고하고 안정적인 시스템입니다. 마크와 웨이퍼/마스크 사이의 우수한 웨이퍼 정렬 정확도 (4jm) 와 함께, 이 구성 요소는 정렬기가 마크를 입지 않고 최고 성능을 유지하는 데 도움이됩니다. 따라서, 이 장치는 엄격한 생산 요구사항과 빠른 작업 흐름을 갖춘 업계에서 사용하기에 적합합니다. 마지막으로, CANON PLA 501FA 는 유지 보수가 적은 작업을 위해 설계되었으며, 유지 보수 또는 보정 확인 없이도 장기간 실행할 수 있습니다. 또한 대부분의 쿼츠 (quartz) 또는 하이브리드 플레이트 (hybrid plate) 및 기판과 호환되므로 다양한 산업 분야에 적합한 선택입니다.
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