판매용 중고 CANON PLA 501 FA #293819190

CANON PLA 501 FA는 석판 촬영 및 직접 쓰기 응용 분야 (direct writing application field) 에 사용되는 사진 해설을 위해 설계된 최첨단, 고정밀도 및 고도로 자동화된 마스크 정렬기입니다. "레이저 탐지 '와" 정렬' 기술로 최대 6 인치 웨이퍼를 수용하고 정렬할 수 있는 대형 작업실을 갖춘 완전 자동화된 장비다. CANON PLA-501FA는 레이저 패턴 생성기 시스템 및 변조 광학을 사용하여 미세 피치 혼합 회로 및 고급 포장, SMD/COF/마이크로 전자/MEMS, OPC 및 역 조각, 광 마스크/데칼 메이킹 및 평면 패널 디스플레이 등 다양한 유형의 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. PLA 501FA에는 마스크 스테이지와 척 (chuck) 이 장착되어 있어 높은 정렬 정확도와 뛰어난 반복성이 보장됩니다. 이 설계에는 photonix ™ Linear Encoder (LEN ™) 와 특수 초점 제어 장치 (Special Focus Control Unit) 가 포함되어 있어, 반복성이 높은 모든 응용 프로그램에 대해 매우 정밀한 웨이퍼 평면을 보장합니다. 레이저 검출기는 검출기 어레이 (detector array), 전자 셔터 (electronic shutter) 및 투영 광학 (projection optics) 으로 구성되며 나노 미터 정확도 내에서 고정밀 정렬 및 반복 성을 허용합니다. PLA-501FA는 사용자 친화적인 10.4형 터치 스크린 (Touch Screen) 작동 패널과 함께 제공되며, 이 패널은 대화형 정렬과 손쉬운 작동에 사용할 수 있습니다. 또한 인라인 데이터 처리 (in-line data handling), 정렬 프로세스 자동 조정 (auto-calibration) 및 원격 머신 제어 (remote machine control) 기능이 제공되므로 운영 라인 애플리케이션에 적합합니다. PLA-501 FA는 CANON 자체 Echo ™ 소프트웨어를 포함한 대부분의 기존 lithography 소프트웨어 응용 프로그램과 호환되며, 이는 전체 lithography 프로세스를 설정에서 노출까지 능률화하는 데 도움이 됩니다. CANON PLA-501 FA는 고급적이고 비용 효율적인 리소그래피 솔루션에 이상적인 선택이며, 여러 애플리케이션에 적합합니다. 탁월한 성능, 사용자 친화적 운영, 높은 처리량, 통합 기능을 통해 고품질 (High Quality) 의 결과와 생산성 향상을 실현할 수 있습니다.