판매용 중고 CANON PLA 501 FA #293757355
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CANON PLA 501 FA는 전기 구조를 제작하기 위해 사진 촬영에 사용하도록 설계된 마스크 정렬 자입니다. 이 장치 는 "실리콘 '과" 갈륨 비소' 를 포함 한 반도체 재료 에 복합 무늬 구조 를 정확 하게 인쇄 하는 데 사용 된다. 프로그래밍 가능한 광학 정렬 장비를 사용하여 가공소재 위에 포토 마스크 (photomask) 를 정확하게 정렬합니다. 이 정확한 정렬을 통해 고해상도 구조를 정확하게 인쇄할 수 있습니다. CANON PLA-501FA는 광범위한 설정을 가진 프로그래밍 가능한 시스템입니다. 노출 시간, 포커스, 마스크 정렬을 조정하여 포토 마스크 (photomask) 의 정확한 배치를 보장할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 미세하고 거친 정렬의 공기 베어링 스테이지 (air bearing stage) 가 포함되어 있어 스텝 노출을 촉진하여 다중 레벨 표면 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 정확한 마스크 정렬 기능 외에도, 노출 용량 및 균일성을 최적화하는 데 사용할 수있는 고급 노출 도구 (Advanced Exposure Tool) 를 포함합니다. 10mJ/cm2 ~ 3,000mJ/cm2의 긴 노출 범위를 갖추고 있으므로 광범위한 노출 요구 사항이 가능합니다. 노출 자산에는 균일 한 교정 단계가 포함되어 있으며, 복잡한 레이어 노출에 대해 정확하고 반복 가능한 노출이 제공됩니다. PLA 501FA에는 마스크 패턴을 설계하는 데 사용할 수있는 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 광범위한 최적화 규칙을 통해 복잡하고 상세한 구조를 만들 수 있습니다 (영문). 일단 설계 되면, "패턴 '은 정확 하게 기판 위 에 인쇄 될 수 있으며, 정확 한 정렬 과 노출 이 있다. PLA-501FA는 다재다능하고 강력한 모델로, 정밀 사진 해설에 이상적입니다. 프로그래밍 가능한 설정, 정렬 정확도 (Alignment Accuracy) 및 균일성 교정 (Uniformity calibration) 및 패턴 디자인 소프트웨어 (Pattern Design Software) 는 산업 및 실험실 사용을위한 매력적인 장치입니다.
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